[發明專利]支持執行并行測量的多引腳探針

有效

• 申請號: 201680024452.0
• 申請日: 2016-04-28
• 公開（公告）號: CN107636476B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 朱南昌;施斌（朱斌）
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R27/14;G01R31/26;G01R19/00;G01R33/09
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 張世俊

1.一種測量系統，其包括：

多引腳探針，其具有N個引腳，其中N大于四；及

控制電路，其經配置以利用所述多引腳探針來對測量對象進行測量，所述控制電路經配置以：

使用所述多引腳探針的第一種配置來執行第一電壓信號測量，其中所述控制電路經配置以：

從所述多引腳探針中所包含的所述N個引腳選擇第一組兩個電流載運引腳；

從所述多引腳探針中所包含的所述N個引腳的剩余引腳中選擇第一組三個或更多個電壓計量引腳；

通過所述第一組兩個電流載運引腳注入電流；

通過所述第一組三個或更多個電壓計量引腳同時測量電壓信號；及

基于通過所述第一組三個或更多個電壓計量引腳所同時測量出的所述電壓信號而計算第一電壓分布曲線；

使用所述多引腳探針的第二種配置來執行第二電壓信號測量，其中所述控制電路經配置以：

從所述多引腳探針中所包含的所述N個引腳的剩余引腳中選擇第二組兩個電流載運引腳；

從所述多引腳探針中所包含的所述N個引腳的剩余引腳中選擇第二組三個或更多個電壓計量引腳；

通過所述第二組兩個電流載運引腳注入電流；

通過所述第二組三個或更多個電壓計量引腳同時測量電壓信號；及

基于通過所述第一組三個或更多個電壓計量引腳所同時測量出的所述電壓信號而計算第二電壓分布曲線；

根據所述第一電壓分布曲線及所述第二電壓分布曲線校正所述多引腳探針的任意探針位置的誤差；及

至少部分地基于所述第一電壓分布曲線及所述第二電壓分布曲線而確定所述測量對象的一或多個過程監測參數。

2.根據權利要求1所述的系統，其中第一引腳與第二引腳之間的距離為第一距離，所述第二引腳與第一引腳鄰近，第三引腳與第四引腳之間的距離為第二距離，所述第四引腳與第三引腳鄰近，其中所述第一距離與所述第二距離不同。

3.根據權利要求1所述的系統，其中所述第一組三個或更多個電壓計量引腳及所述第二組三個或更多個電壓計量引腳包含所述多引腳探針中所包含的除了所述兩個電流載運引腳之外的所有N個引腳。

4.根據權利要求3所述的系統，其中所述多引腳探針包含12個引腳。

5.根據權利要求1所述的系統，其中所述控制電路包括經配置以通過所述第一組三個或更多個電壓計量引腳及所述第二組三個或更多個電壓計量引腳同時測量電壓信號的多個電壓表。

6.根據權利要求5所述的系統，其中所述多個電壓表包含并行操作的多個鎖定放大器。

7.根據權利要求1所述的系統，其中所述控制電路進一步經配置以：

改變對所述兩個電流載運引腳及所述三個或更多個電壓計量引腳的選擇以使用所述多引腳探針的第三種配置來執行第三電壓信號測量。