[發明專利]檢查系統

有效

• 申請號: 201680018972.0
• 申請日: 2016-03-02
• 公開（公告）號: CN107408520B
• 公開（公告）日: 2022-02-25
• 發明（設計）人: 盧茨·瑞布斯道克
• 申請（專利權）人: 盧茨·瑞布斯道克
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋融冰

本發明涉及適用于確定晶片或掩模容器或至少部分的晶片或掩模容器的狀態和/或內容物的檢查系統，其包括檢測設備或多個檢測設備(102、104、152、154、156、158、160、164)，檢測設備或多個檢測設備適于從晶片或掩模容器或部分的晶片或掩模容器的表面和/或內部接收表示晶片或掩模容器或部分的晶片或掩模容器的狀態和/或內容物的檢測數據。

技術領域

本申請涉及適用于確定晶片或掩模容器的狀態和/或內容物的檢查系統，并且還涉及用于確定該容器的狀態和/或內容物的檢查室。

雖然本申請涉及前開式晶圓盒(FOUP)作為優選的示例，然而本發明可應用于任何類型的晶片或掩模容器。作為其它示例，提到了前開式傳送盒(FOSB)。

背景技術

在半導體晶片加工中，機器人機構連續地布置、組織和處理晶片和晶片容器，諸如前開式晶圓盒(FOUP)。FOUP可能在該過程中損壞(例如劃痕、斷裂、變形等)。由此存在對這種損壞和/或缺陷有效地檢查FOUP的需要。

諸如FOUP的晶片或掩模容器也容易受到污染，因此例如晶片制造過程變得不那么有效。

發明內容物

根據本發明建議了包括權利要求1的特征的檢查系統以及包括權利要求19的特征的檢查室。

在權利要求書中指出的是，根據本發明的系統包括“檢測設備或多個檢測設備”。這特別對應于如在說明書中所使用的措辭“至少一個檢測設備”。

根據本發明，至少一個檢測設備適于從晶片或掩模容器或部分的該容器的表面和/或內部接收表示該容器或部分的該容器的狀態和/或內容物的檢測數據。在這部分內容中，術語“內部”尤其是指壁或蓋的內部區域，即在這種壁或蓋的表面下面的區域。

本發明的優選實施方式是從屬權利要求的主題。

根據第一優選實施方式，晶片或掩模容器是前開式晶圓盒(FOUP)。為了在晶片加工期間提供對晶片的有效處理，最重要的是FOUP處于無瑕疵狀態，以避免對晶片任何類型的錯誤處理或污染。

根據本發明的第一優選實施方式，檢測設備包括至少一個相機，檢測數據作為圖像數據被提供。相機是用于從容器的表面接收檢測數據的優選的檢測設備。

有利地，提供至少兩個相機，其中至少一個適于提供可變視野。例如，可以提供適于提供容器的完整表面或側面的全景視圖的第一相機，以及用于提供可顯著地小于第一相機的可變視野的第二相機。通過這種布置，可以在檢測詳細特征的同時檢測容器的一般特征。可以在變焦系統內提供相機以改變其視野的尺寸。

優選地，至少一個檢測設備與定位系統聯接。如此與定位系統的聯接促進了基于檢測數據對容器的尺寸或特征的實際測量量。

優選地，將至少一個檢測設備，特別是相機，設置成聯接至線性引導件和/或聯接至旋轉和/或樞轉裝置。通過這樣的聯接，可便利地對檢測設備的視場，特別是相機的視野，進行調整，例如在提供一般的視場和特定的視場之間進行交替，并且也為了對容器表面的感興趣區域進行掃描。

便利地，檢測設備適于產生容器(特別是FOUP)的表面上的感興趣區域的數字圖像，檢查系統還包括數據處理單元，該數據處理單元適于通過與數據處理單元的存儲器和處理器關聯的算法來處理所產生的數字圖像，以識別容器的狀態和/或內容物。在這部分內容中，特別是可以確定FOUP的損壞，例如FOUP(諸如墊圈、索環或操作凸緣)的斷裂或損壞的特征，和諸如失真的缺陷，例如由于暴露于熱或其它外部影響。