[發明專利]光量檢測裝置、利用其的免疫分析裝置及電荷粒子束裝置

有效

• 申請號: 201680018266.6
• 申請日: 2016-03-16
• 公開（公告）號: CN107407595B
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 笠井優;大西富士夫;田崎修;田上英嗣;田中一啟
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42;G01N23/2251;G01N33/53
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;范勝杰

一種光量檢測裝置，對由光電倍增管(2)檢測、由前置放大器(5)放大、且轉換成數字信號的檢測信號進行基準補償處理即將低于預定的基準閾值的信號成分的時間平均值計算為基準電壓，并補償檢測信號以使基準電壓成為0，對已進行基準補償處理的信號進行閾值處理即計算高于預定的信號檢測閾值的信號成分、和光未入射至光電倍增管(2)的狀態下的基準補償處理，對其輸出信號進行暗電流計算處理即計算高于預定的信號檢測閾值的信號成分，并使由閾值處理得到的檢測光的信號成分減去由暗電流計算處理得到的暗電流的信號成分的時間平均值來計算發光信號量。由此，通過辨別暗電流脈沖和本底噪聲，可以提高基準電壓的精度，可以提高光的檢測精度。

技術領域

本發明涉及對光檢測并進行光量的測量的光量檢測裝置、利用其的免疫分析裝置及電荷粒子束裝置。

背景技術

由于光電子倍增管可以將非常微弱的光提取為電信號，用于各種領域。例如，在光度計中，通過對試樣照射光，由光電子倍增管檢測從試樣產生的熒光，并分析微量的試樣內的所含成分。另外，在電荷粒子束裝置中，在試樣上照射電子束，用閃爍器將從該試樣表面產生的微弱的二次電子轉換成光并由光電子倍增管檢測，從而進行試樣表面的細微的觀察。

作為與這種利用光電子倍增管的光的檢測相關的技術，例如，專利文獻1(國際公開第2013/187511號)中，公開了一種關于光信號檢測電路的技術，所述光信號檢測電路的特征在于，具備：放大單元，其放大與由光檢測單元檢測的光量相對應的模擬檢測信號；模擬數字轉換單元，其將由所述放大單元放大的模擬檢測信號轉換成數字檢測信號；臨界值決定單元，其從由所述模擬數字轉換單元轉換的數字檢測信號中檢測脈沖，并且重復對檢測出的脈沖的能量進行檢測的處理，求出每個檢測出的能量的脈沖的出現頻率，并基于所求出的每個能量的脈沖的出現頻率來決定脈沖判定臨界值；以及臨界值處理單元，其將包括由所述臨界值決定單元決定的脈沖判定臨界值以上的能量的脈沖的所述數字檢測信號輸出為檢測信號。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2013/187511號

發明內容

技術問題

近年來，在光度計或電荷粒子束裝置中，要求更高的精度，并且需要檢測更微量的光。

然而，在上述現有技術中，盡管規定臨界值來辨別光的信號成分和由暗電流造成的噪聲的信號成分，但由于對因暗電流造成的噪聲的信號成分和本底噪聲的信號成分的辨別未進行考慮，無法求出準確的基準電壓，因此存在無法準確獲得通過與該基準電壓的比較而求出的光的信號成分的值的課題。

本發明鑒于上述問題而進行，其目的在于，提供通過辨別暗電流脈沖和本底噪聲，就可以提高基準電壓的精度，并且可以提高光的檢測精度的光量檢測裝置、利用其的免疫分析裝置及電荷粒子束裝置。

技術方案