[發明專利]雙重彎曲X射線聚光元件及其結構體、雙重彎曲X射線分光元件及其結構體的制造方法有效
| 申請號： | 201680018150.2 | 申請日： | 2016-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN107408417B | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發明（設計）人： | 河原直樹 | 申請（專利權）人： | 株式會社理學 |
| 主分類號： | G21K1/06 | 分類號： | G21K1/06;G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京三幸商標專利事務所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 劉卓然 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙重 彎曲 射線 聚光 元件 分光 具有 裝置 以及 制造 方法 | ||
1.一種雙重彎曲X射線聚光元件的制造方法，該制造方法包括：
準備表面粗糙度按照均方根粗糙度為0.5nm以下的玻璃板的工序；
準備具有雙重彎曲凸面的凸模成形夾具的工序；
準備凹模成形夾具的工序，該凹模成形夾具具有同上述雙重彎曲凸面吻合的雙重彎曲凹面；
在上述凸模成形夾具的雙重彎曲凸面與上述凹模成形夾具的雙重彎曲凹面之間夾持上述玻璃板，加熱到400℃～600℃，以使該玻璃板不受到上述凸模成形夾具的雙重彎曲凸面的表面粗糙度的影響，按照具有雙重彎曲面的形狀，使上述玻璃板變形的工序；
在已變形的上述玻璃板的凹面上形成反射X射線的反射膜的工序。
2.一種雙重彎曲X射線聚光元件結構體的制造方法，該制造方法包括：
準備通過權利要求1所述的制造方法而制造的雙重彎曲X射線聚光元件的工序；
準備固接上述雙重彎曲X射線聚光元件的基座的工序；
將上述雙重彎曲X射線聚光元件固接于上述基座上的工序。
3.一種雙重彎曲X射線聚光元件結構體的制造方法，該制造方法包括：
準備表面粗糙度以均方根粗糙度計為0.5nm以下的玻璃板的工序；
準備具有雙重彎曲凸面的凸模成形夾具的工序；
準備包括同上述雙重彎曲凸面吻合的雙重彎曲凹面的凹模成形夾具的工序；
在上述凸模成形夾具的雙重彎曲凸面與上述凹模成形夾具的雙重彎曲凹面之間夾持上述玻璃板，加熱到400℃～600℃，以使該玻璃板不受到上述凸模成形夾具的雙重彎曲凸面的表面粗糙度的影響，按照具有雙重彎曲面的形狀使上述玻璃板變形的工序；
準備固接已變形的上述玻璃板的基座的工序；
將已變形的上述玻璃板固接于上述基座上的工序；
在固接于上述基座上的上述玻璃板的凹面上形成反射X射線的反射膜的工序。
4.一種雙重彎曲X射線分光元件的制造方法，該制造方法包括：
準備表面粗糙度按照均方根粗糙度計為0.5nm以下的玻璃板的工序；
準備具有雙重彎曲凸面的凸模成形夾具的工序；
準備包括同上述雙重彎曲凸面吻合的雙重彎曲凹面的凹模成形夾具的工序；
在上述凸模成形夾具的雙重彎曲凸面與上述凹模成形夾具的雙重彎曲凹面之間夾持上述玻璃板，加熱到400℃～600℃，以使該玻璃板不受到上述凸模成形夾具的雙重彎曲凸面的表面粗糙度的影響，按照具有雙重彎曲面的形狀使上述玻璃板變形的工序；
在已變形的上述玻璃板的凹面上形成對X射線進行分光的人工累積膜的工序。
5.一種雙重彎曲X射線分光元件結構體的制造方法，該制造方法包括：
準備通過權利要求4所述的制造方法而制造的雙重彎曲X射線分光元件的工序；
準備固接上述雙重彎曲X射線分光元件的基座的工序；
將上述雙重彎曲X射線分光元件固接于上述基座上的工序。
6.一種雙重彎曲X射線分光元件結構體的制造方法，該制造方法包括：
準備表面粗糙度按照均方根粗糙度計為0.5nm以下的玻璃板的工序；
準備具有雙重彎曲凸面的凸模成形夾具的工序；
準備包括同上述雙重彎曲凸面吻合的雙重彎曲凹面的凹模成形夾具的工序；
在上述凸模成形夾具的雙重彎曲凸面與上述凹模成形夾具的雙重彎曲凹面之間夾持上述玻璃板，加熱到400℃～600℃，以使該玻璃板不受到上述凸模成形夾具的雙重彎曲凸面的表面粗糙度的影響，按照具有雙重彎曲面的形狀使上述玻璃板變形的工序；
準備固接已變形的上述玻璃板的基座的工序；
將已變形的上述玻璃板固接于上述基座上的工序；
在固接于上述基座上的上述玻璃板的凹面上形成對X射線進行分光的人工累積膜的工序。
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