[發明專利]移動體的位置檢測方法

有效

• 申請號: 201680018123.5
• 申請日: 2016-03-14
• 公開（公告）號: CN107407719B
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 田中雄太;西村三千雄
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01S5/30
• 分類號: G01S5/30
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 熊風;宋俊寅

1.一種移動體的位置檢測方法，該移動體的位置檢測方法用于利用和在工作臺的平面上移動的移動體所具有的傳感器協同檢測所述移動體的位置的位置檢測用傳感器，檢測所述移動體在所述工作臺的平面上的位置，其特征在于，

在所述工作臺的平面上假設XY坐標、X軸方向上的平行且相等間隔的多條X軸方向參考線和Y軸方向上的平行且相等間隔的多條Y軸方向參考線，

使在預定位置上具有所述傳感器的所述移動體或在和所述移動體相同的位置上具有所述傳感器的虛擬移動體位于所述X軸方向參考線和Y軸方向參考線相交的多個交點上，

由所述位置檢測用傳感器檢測在各所述多個交點上的、所述移動體或所述虛擬移動體的位置，取得校準用XY坐標數據，

根據取得的所述校準用XY坐標數據和所述移動體或所述虛擬移動體所處的所述多個交點的真實位置數據的差，求出在所述多個交點上的X軸方向及Y軸方向的位置偏差量，以作為X軸方向誤差及Y軸方向誤差，并且，

基于所述X軸方向誤差及所述Y軸方向誤差，求出作為多條所述X軸方向參考線及所述Y軸方向參考線上的各位置的誤差的計算公式的X軸方向誤差近似公式及Y軸方向誤差近似公式，

在實際檢測在所述工作臺的平面上移動的所述移動體的位置時，

由所述位置檢測用傳感器檢測在所述工作臺的平面上移動的所述移動體的位置，并通過使用所述X軸方向誤差近似公式及所述Y軸方向誤差近似公式由線性插值法對得到的XY坐標檢測數據進行校正，以得到近似于所述移動體的真實位置的位置數據。

2.如權利要求1所述的移動體的位置檢測方法，其特征在于，

在所述移動體在預定位置具有多個傳感器，構成為能夠根據由所述位置檢測用傳感器檢測出的所述多個傳感器的位置關系，檢測所述移動體的以垂直于所述工作臺的平面的軸為旋轉軸的旋轉方向位置的情況下，

使在預定位置上具有所述傳感器的所述移動體或在和所述移動體相同的位置上具有所述傳感器的虛擬移動體位于所述多個交點上時，使所述移動體或所述虛擬移動體的旋轉方向位置位于朝向預定方向的位置，由所述位置檢測用傳感器檢測在各所述多個交點上的、所述移動體或所述虛擬移動體的所述旋轉方向位置，取得旋轉方向位置校準用數據，

根據取得的所述旋轉方向位置校準用數據和所述多個交點的真實旋轉方向位置數據的差，求出在所述多個交點上的旋轉方向位置誤差，并且

基于所述旋轉方向位置誤差，求出作為各位置的誤差的計算公式的旋轉方向誤差近似公式，

在實際檢測在所述工作臺的平面上移動的所述移動體的旋轉方向位置時，

由所述位置檢測用傳感器檢測在所述工作臺的平面上移動的所述移動體的旋轉方向位置，并通過使用所述旋轉方向誤差近似公式由線性插值法對得到的旋轉方向位置檢測數據進行校正，以得到近似于所述移動體的真實旋轉方向位置的旋轉方向位置數據。