[發明專利]真空閥

有效

• 申請號: 201680014901.3
• 申請日: 2016-02-19
• 公開（公告）號: CN107407443B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 弗洛里安·恩爾奈
• 申請（專利權）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02;F16K3/18
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 李少丹;許偉群

一種真空閥，該真空閥包含有閥體(1)，該閥體具有由閥座(5)圍繞的閥開口(2)，該閥開口具有軸線(3)，該真空閥還包含有關閉機構(4)，該關閉機構可以平行于縱向移動方向(16)在打開位置與中間位置之間移動，其中在打開位置中其露出該閥開口(2)，在中間位置中其覆蓋該閥開口(2)但從閥座(5)上取下，并且該關閉機構可以平行于橫向移動方向(30)在中間位置和關閉位置之間移動，其中在關閉位置中其位于該閥座(5)上，該真空閥還包含有承載該關閉機構(4)的閥桿(9)、縱向行程線性導向裝置(13)，縱向行程線性導向裝置具有與該閥桿(9)相連接的縱向行程滑塊(14)和縱向行程導向部件(15)，其中縱向行程滑塊(14)由縱向行程導向部件在縱向移動方向(16)線性可偏移地導向，該真空閥還包含有橫向行程線性導向裝置(17)，橫向行程線性導向裝置包含有與縱向行程導向部件(15)相連接的橫向行程滑塊(18)和橫向行程導向部件(19)，其中橫向行程滑塊(18)由橫向行程導向部件在于縱向移動方向(16)相傾斜的傾斜移動方向(20)上線性可偏移地導向。

技術領域

本發明涉及一種真空閥，其包含有閥體，該閥體帶有由閥座所圍繞的、并具有軸線的閥開口，該真空閥還包含有關閉機構，該關閉機構可以在釋放閥開口的打開位置與覆蓋該閥開口、但從閥座取下的中間位置之間平行于縱向移動方向來移動，并且該關閉機構可以在中間位置與貼靠到閥座上的關閉位置之間平行于橫向移動方向來移動，該真空閥還包含有承載該關閉機構的閥桿、縱向行程線性導向裝置，該線性導向裝置具有與該閥桿相連的縱向行程滑塊和縱向行程線性導向部件，其中縱向行程滑塊由縱向行程導向部件在縱向移動方向上線性可偏移地導向，該真空閥還包含有縱向行程驅動裝置，其中由縱向行程驅動裝置為了在該打開位置與該中間位置之間移動該關閉機構而能夠相對于縱向行程導向部件來偏移縱向行程滑塊，該真空閥還包含有橫向行程驅動裝置，以在中間位置與關閉位置之間移動該關閉機構。

背景技術

在真空閥中為了關閉真空閥，該關閉機構首先在平行于閥桿的縱向移動方向上從打開位置偏移到中間位置，在中間位置中該關閉機構覆蓋該閥開口但從閥座上取下，并然后在與縱向移動方向成角度的橫向移動方向上被貼靠到該閥座上，這種真空閥也被稱作L閥。

在一種不同構造方式的L閥中，該閥桿圍繞與縱向移動方向垂直的軸可樞轉地布置，以能夠把閥板從其中間位置移動到其關閉位置以及反向移動。為了圍繞該軸線來樞轉該閥桿，在此可以采用連桿導軌，這比如在US 6,237，892 B1、US 7,066,443 B2或US 2012/0258242 A1中被公開。

在L閥中為了在中間位置與關閉位置之間移動該關閉機構，該關閉機構以與縱向移動方向成角度的、尤其直角的橫向移動方向上來進行平行偏移，根據一種常規的實施方式，在承載該關閉機構的承載單元上設置有驅動元件以在中間位置與該關閉位置之間移動該關閉機構，其中該承載單元位于該真空閥的閥殼體中并設置在從該真空閥的真空區域引出的閥桿上。這種L閥的實施比如參見US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2和US 7,611,122B2。US 6,056,266 A和US 7,611,122 B2在此還涉及順序控制，以保證該活塞-氣缸單元操作的正確過程。在US 8，177，190 B2中公開了L閥的另一種這樣的順序控制。

在一種L閥中，該關閉機構在中間位置與關閉位置之間進行線性偏移，其中不僅用于在打開位置與中間位置之間移動該關閉機構的驅動裝置、而且用于在中間位置與關閉位置之間移動該關閉機構的驅動裝置都布置在真空外部，參見WO 2010/034046 A1。在縱向移動方向上可偏移地支承該閥桿的塊上還設置有用于在縱向移動方向上移動該閥桿的驅動裝置，該塊在此還在與縱向移動方向相垂直的橫向移動方向上線性可偏移，其中這種線性偏移借助在該方向上作用的活塞-氣缸單元來進行。

US 7,762,527 B2還提供了L閥的一種實施方式，其中用于在縱向移動方向上以及在橫向移動方向上線性移動該關閉機構的驅動裝置布置在真空外部。一種可能的構造在此規定，用于在縱向移動方向上相對于閥殼體來移動該關閉機構的活塞-氣缸單元借助線性導向裝置在垂直于縱向移動方向的橫向移動方向上可偏移地支承。