[發明專利]真空閥

有效

• 申請號: 201680014901.3
• 申請日: 2016-02-19
• 公開（公告）號: CN107407443B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 弗洛里安·恩爾奈
• 申請（專利權）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02;F16K3/18
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 李少丹;許偉群

1.一種真空閥，包含有：

閥體(1)，其帶有由閥座(5)圍繞的閥開口(2)，該閥開口具有軸線(3)；

關閉機構(4)，該關閉機構能平行于縱向移動方向(16)在打開位置與中間位置之間移動，其中在打開位置中其釋放該閥開口(2)，在中間位置中其覆蓋該閥開口(2)、但從閥座(5)上取下，并且該關閉機構能平行于橫向移動方向(30)在中間位置和關閉位置之間移動，其中在關閉位置中其貼靠于該閥座(5)上；

承載該關閉機構(4)的閥桿(9)；

縱向行程線性導向裝置(13)，其具有與該閥桿(9)相連接的縱向行程滑塊(14)和縱向行程導向部件(15)，其中縱向行程滑塊(14)由縱向行程導向部件在縱向移動方向(16)線性可偏移地導向；

縱向行程驅動裝置(25)，其中，為了在打開位置與中間位置之間移動該關閉機構(4)，能由該縱向行程驅動裝置相對于縱向行程導向部件(15)來偏移所述縱向行程滑塊(14)；以及

橫向行程驅動裝置(31)，以在中間位置和關閉位置之間移動該關閉機構(4)；

其特征在于，該真空閥另外還包含有橫向行程線性導向裝置(17)，該橫向行程線性導向裝置包含有與縱向行程導向部件(15)相連接的橫向行程滑塊(18)和橫向行程導向部件(19)，其中所述橫向行程滑塊(18)由橫向行程導向部件在與縱向移動方向(16)相傾斜的傾斜移動方向(20)上線性可偏移地導向，

其中為了在中間位置與關閉位置之間移動該關閉機構(4)，橫向行程滑塊(18)能由橫向行程驅動裝置(31)相對于橫向行程導向部件(19)來偏移，并且在此所述縱向行程導向部件(15)也相對于縱向行程滑塊(14)進行偏移。

2.根據權利要求1所述的真空閥，其特征在于，該傾斜移動方向(20)相對于縱向移動方向(16)傾斜了一小于45°的角(37)。

3.根據權利要求2所述的真空閥，其特征在于，該傾斜移動方向(20)相對于縱向移動方向(16)傾斜了一大于4°的角(37)。

4.根據權利要求3所述的真空閥，其特征在于，該傾斜移動方向(20)與該縱向移動方向(16)夾了一個處于5°至20°的范圍內的角(37)。

5.根據權利要求1至4之一所述的真空閥，其特征在于，該傾斜移動方向(20)位于由縱向移動方向(16)和橫向移動方向(30)所確定的平面中。

6.根據權利要求1至4之一所述的真空閥，其特征在于，該橫向移動方向(30)與縱向移動方向(16)相垂直。

7.根據權利要求1至4之一所述的真空閥，其特征在于，該橫向移動方向(30)與該閥開口(2)的軸線(3)相平行。

8.根據權利要求1至4之一所述的真空閥，其特征在于，該閥桿(9)具有平行于縱向移動方向(16)的縱軸線(10)。

9.根據權利要求1至4之一所述的真空閥，其特征在于，所述縱向行程滑塊(14)與縱向行程驅動裝置(25)之間的連接具有平行于橫向移動方向(30)的可運動性。

10.根據權利要求1至4之一所述的真空閥，其特征在于，所述縱向行程滑塊(14)與該閥桿(9)剛性連接。

11.根據權利要求1至4之一所述的真空閥，其特征在于，所述橫向行程滑塊(18)與縱向行程導向部件(15)剛性連接。

12.根據權利要求1至4之一所述的真空閥，其特征在于，與該閥桿(9)相連接的連接部件(12)的兩側分別設置有縱向行程滑塊(14)，所述縱向行程滑塊由相應的縱向行程導向部件(15)平行于縱向移動方向能偏移地導向，其中這兩個縱向行程導向部件(15)分別與橫向行程滑塊(18)相連接，橫向行程滑塊由相應的橫向行程導向部件(19)平行于傾斜移動方向(20)能偏移地導向。