[發明專利]附有透明導電膜的玻璃基板及其制造方法

在審

• 申請號: 201680014557.8
• 申請日: 2016-01-08
• 公開（公告）號: CN107406307A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 和田正紀;柏谷健;平尾徹
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34;B23K26/351;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/28
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及一種附有透明導電膜的玻璃基板及其制造方法。

背景技術

在等離子體顯示器、電致發光元件等之中，已知將作為電極使用的透明導電膜形成于玻璃基板等透明基板上，將透明導電膜利用激光進行圖案化(專利文獻1和專利文獻2)。

在有機電致發光元件等中，為了提高光提取效率，在玻璃基板與透明導電膜之間，有時會設置折射率比玻璃基板高的基底玻璃層。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2007－207554號公報

專利文獻2：日本特開2006－267834號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

本發明的發明人發現，在設置了基底玻璃層的情況下，存在使用激光對透明導電膜進行圖案化時，透明導電膜或基底玻璃層容易發生變色、損傷這樣的技術問題。

本發明的目的在于，提供一種對形成于基底玻璃層之上的透明導電膜利用激光進行圖案化時，能夠抑制透明導電膜或基底玻璃層發生變色、損傷的附有透明導電膜的玻璃基板及其制造方法。

用于解決技術問題的方法

本發明的附有透明導電膜的玻璃基板的特征在于，具備玻璃基板、設置在玻璃基板上的基底玻璃層、和設置在基底玻璃層之上的利用激光進行了圖案化的透明導電膜，在激光的波長下，基底玻璃層所具有的吸收率小于透明導電膜的吸收率且大于玻璃基板的吸收率，利用激光進行圖案化除去透明導電膜的一部分而成的圖案化區域具有第一線狀部分、第二線狀部分和將第一線狀部分與第二線狀部分相連接的連接部分，第一線狀部分與第二線狀部分所成角度為120°以下，連接部分的曲率半徑為0.5mm以上。

作為基底玻璃層，可以列舉包含鉍系玻璃的玻璃層。

作為基底玻璃層，可以列舉所具有的折射率高于玻璃基板的折射率的玻璃層。

作為激光，例如能夠使用飛秒激光。

優選在玻璃基板的設置有基底玻璃層的表面形成有凹凸。

本發明的附有透明導電膜的玻璃基板例如用作有機電致發光元件用玻璃基板。

本發明的制造方法是能夠制造上述本發明的附有透明導電膜的玻璃基板的方法，該方法的特征在于，具備：制作在基底玻璃層之上形成有圖案化前的透明導電膜的玻璃基板的工序；和使激光依次或以顛倒的順序依次掃描第一線狀部分、連接部分和第二線狀部分，對透明導電膜照射激光，形成圖案化區域的工序。

發明效果

根據本發明，在對形成于基底玻璃層之上的透明導電膜利用激光進行圖案化時，能夠抑制透明導電膜或基底玻璃層發生變色、損傷。

附圖說明

圖1是表示本發明的一個實施方式的附有透明導電膜的玻璃基板的示意剖面圖。

圖2是表示本發明的一個實施方式的附有透明導電膜的玻璃基板的示意俯視圖。

圖3是將圖2所示的第一線狀部分、第二線狀部分和連接部分擴大示出的示意俯視圖。

圖4是將比較例的第一線狀部分、第二線狀部分和連接部分擴大示出的示意俯視圖。

具體實施方式

以下，對于優選實施方式進行說明。但，以下的實施方式僅為例示，本發明不受以下的實施方式所限定。另外，在各附圖中，有時對實質上具有相同功能的部件以相同的符號進行注釋。

圖1是表示本發明的一個實施方式的附有透明導電膜的玻璃基板的示意剖面圖。圖2是表示本發明的一個實施方式的附有透明導電膜的玻璃基板的示意俯視圖。圖1是沿圖2所示的I－I線的示意剖面圖。如圖1所示，本實施方式的附有透明導電膜的玻璃基板6具備玻璃基板1、設置在玻璃基板1的主面1a上的基底玻璃層2、和設置在基底玻璃層2的主面2a之上的透明導電膜3。在玻璃基板1的主面1a形成有凹凸。因此，基底玻璃層2設置在形成有凹凸的主面1a之上。

在透明導電膜3形成有利用激光進行圖案化除去透明導電膜3的一部分而成的圖案化區域10。透明導電膜3通過圖案化區域10被分割為第一電極4和第二電極5。

本實施方式的附有透明導電膜的玻璃基板6例如能夠用作有機電致發光元件用玻璃基板。在用作有機電致發光元件用玻璃基板的情況下，在附有透明導電膜的玻璃基板6之上設置有有機電致發光層。有機電致發光層發光，從有機電致發光層射出的光通過透明導電膜3和玻璃基板1，被提取至外部。為了提高從有機電致發光層射出的光的提取效率，在透明導電膜3與玻璃基板1之間設置有基底玻璃層2。