[發明專利]附有透明導電膜的玻璃基板及其制造方法

在審

• 申請號: 201680014557.8
• 申請日: 2016-01-08
• 公開（公告）號: CN107406307A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 和田正紀;柏谷健;平尾徹
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34;B23K26/351;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/28
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳

1.一種附有透明導電膜的玻璃基板，其特征在于，具備：

玻璃基板、設置在所述玻璃基板上的基底玻璃層和設置在所述基底玻璃層之上的利用激光進行了圖案化的透明導電膜，

在所述激光的波長下，所述基底玻璃層所具有的吸收率小于所述透明導電膜的吸收率且大于所述玻璃基板的吸收率，

利用所述激光進行圖案化除去所述透明導電膜的一部分而成的圖案化區域具有第一線狀部分、第二線狀部分和將所述第一線狀部分與所述第二線狀部分相連接的連接部分，所述第一線狀部分與所述第二線狀部分所成角度為120°以下，所述連接部分的曲率半徑為0.5mm以上。

2.如權利要求1所述的附有透明導電膜的玻璃基板，其特征在于：

所述基底玻璃層包含鉍系玻璃。

3.如權利要求1或2所述的附有透明導電膜的玻璃基板，其特征在于：

所述基底玻璃層所具有的折射率高于所述玻璃基板的折射率。

4.如權利要求1～3中任一項所述的附有透明導電膜的玻璃基板，其特征在于：

所述激光為飛秒激光。

5.如權利要求1～4中任一項所述的附有透明導電膜的玻璃基板，其特征在于：

在所述玻璃基板的設置有所述基底玻璃層的表面形成有凹凸。

6.如權利要求1～5中任一項所述的附有透明導電膜的玻璃基板，其特征在于：

其為用于有機電致發光元件的玻璃基板。

7.一種制造附有透明導電膜的玻璃基板的方法，其用于制造權利要求1～6中任一項所述的附有透明導電膜的玻璃基板，該方法的特征在于，具備：

制作在所述基底玻璃層之上形成有所述圖案化前的所述透明導電膜的所述玻璃基板的工序；和

使所述激光依次或以顛倒的順序依次掃描所述第一線狀部分、所述連接部分和所述第二線狀部分，對所述透明導電膜照射所述激光，形成所述圖案化區域的工序。