[發明專利]諧振器

有效

• 申請號: 201680014116.8
• 申請日: 2016-03-29
• 公開（公告）號: CN107408934B
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 中村大佐;西村俊雄;維萊·卡亞卡里
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;李洋

本發明提供減小保持單元中的共振電阻的諧振器。具備：振動部，其具有第一電極、第二電極以及形成在該第一電極與第二電極之間的壓電膜；保持部，其設置為包圍振動部；一對保持單元，它們連接振動部與保持部且相互對置地設置；以及引出電極，其從保持部連續地形成到保持單元，第一電極或者第二電極連續地形成到保持單元，并在保持單元上與引出電極連接，引出電極的單位面積的電阻值比連續地形成到保持單元的第一電極或者第二電極的單位面積的電阻值小。

技術領域

本發明涉及諧振器。

背景技術

作為在電子設備中用于實現計時功能的器件，使用壓電振子。隨著電子設備的小型化，壓電振子也要求小型化，而使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微機電系統)技術制造的諧振器被注目。

例如如專利文獻1所公開的那樣，以往的諧振器由矩形的振動部、在振動部上分割形成的電極、連結振動部與保持部的保持臂、以及將設置在保持臂上的電極向保持部引出的布線構成。

專利文獻1：美國專利第7639105號說明書

保持臂為了不阻礙振動部的振動，而期望是細長的形狀。但是，在專利文獻1所公開的那樣的以往的諧振器中，由于使保持臂形成為細長，而有保持臂中的共振電阻變高，反而阻礙振動部的振動這樣的結束問題。

發明內容

本發明是鑒于這樣的情況而提出的，其目的在于減小保持振動部的保持單元中的共振電阻。

本發明的一側面所涉及的諧振器具備：振動部，其具有第一電極、第二電極以及形成在該第一電極與第二電極之間的壓電膜；保持部，其設置為包圍振動部；一對保持單元，它們連接振動部與保持部且相互對置地設置；以及引出電極，其從保持部連續地形成到保持單元，第一電極或者第二電極連續地形成到保持單元，并在保持單元上與引出電極連接，引出電極的單位面積的電阻值比連續地形成到保持單元的第一電極或者第二電極的單位面積的電阻值小。

根據這樣的諧振器，成為通過與上部電極相比單位面積的電阻值較小的引出電極引出保持單元上的該上部電極的結構。由此，能夠減小保持單元中的共振電阻。

另外優選保持單元還在連續地形成到保持單元的第一電極或者第二電極上具有絕緣體的保護膜，引出電極經由貫通保護膜的貫通孔，與連續地形成到保持單元的第一電極或者第二電極連接。

根據該優選的方式，具有用于調整共振頻率的保護膜的諧振器也能夠在保持單元上連接引出電極與電極。

另外，優選第一電極以及第二電極雙方均連續地形成到保持單元，引出電極與第一電極或者第二電極連接。

根據該優選的方式，上部電極和下部電極的任意一個均能夠通過引出電極連接。

另外，優選保持單元具有：第一臂，其設置在與振動部的一邊大致平行的方向；和第二臂，其設置在與第一臂大致垂直的方向，并連接第一臂與振動部，引出電極在第一臂與第二臂的連接點經由，貫通孔與第一電極或者第二電極連接。

根據該優選的方式，通過在保持單元的彎曲部設置貫通孔，能夠使彎曲部的剛性、質量增大。由此能夠提高彎曲部的聲學反射效果，使振動的封閉性提高。

另外，優選保持單元具備由設置在振動部的一邊大致平行的方向的一對第一臂、和設置在與一對第一臂大致垂直的方向，且在其兩端與該一對第一臂的兩端連接的一對第二臂形成的振動緩沖部，引出電極在振動緩沖部的第一臂與一對第二臂的連接點經由貫通孔與第一電極或者第二電極連接。

根據該優選的方式，通過在振動緩沖部的兩端設置貫通孔，振動緩沖部的兩端的剛性、質量增大。由此，在振動緩沖部中，能夠更有效地抑制振動向保持單元的傳播，能夠高效地封閉從振動部傳播的輪廓振動的高次諧波的振動。

根據本發明，保持振動部的保持單元中的共振電阻變小。