[發明專利]諧振器有效
| 申請號: | 201680014116.8 | 申請日: | 2016-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN107408934B | 公開(公告)日: | 2020-06-23 |
| 發明(設計)人: | 中村大佐;西村俊雄;維萊·卡亞卡里 | 申請(專利權)人: | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號: | H03H9/17 | 分類號: | H03H9/17 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艷君;李洋 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 諧振器 | ||
1.一種諧振器,具備:
振動部,其具有第一電極、第二電極以及形成在該第一電極與上述第二電極之間的壓電膜;
保持部,其設置為包圍上述振動部;
一對保持單元,它們連接上述振動部與上述保持部,并相互對置地設置;以及
引出電極,其從上述保持部連續地形成到上述保持單元,
上述第一電極或者上述第二電極連續地形成到上述保持單元,并在上述保持單元上與上述引出電極連接,
上述引出電極的單位面積的電阻值比連續地形成到上述保持單元的上述第一電極或者上述第二電極的單位面積的電阻值小。
2.根據權利要求1所述的諧振器,其特征在于,
上述保持單元還在連續地形成到上述保持單元的上述第一電極或者上述第二電極上具有絕緣體的保護膜,
上述引出電極經由貫通上述保護膜的貫通孔,與連續地形成到上述保持單元的上述第一電極或者上述第二電極連接。
3.根據權利要求2所述的諧振器,其特征在于,
上述第一電極以及上述第二電極雙方均連續地形成到上述保持單元,
上述引出電極與上述第一電極或者上述第二電極連接。
4.根據權利要求1~3中任意一項所述的諧振器,其特征在于,
上述保持單元具有:
第一臂,其設置在與上述振動部的一邊大致平行的方向;和
一對第二臂,其設置在與上述第一臂大致垂直的方向,并連接上述第一臂與振動部,
上述引出電極在上述第一臂與上述第二臂的連接點經由貫通孔與上述第一電極或者上述第二電極連接。
5.根據權利要求1~3中任意一項所述的諧振器,其特征在于,
上述保持單元具備振動緩沖部,該振動緩沖部由設置在與上述振動部的一邊大致平行的方向的一對第一臂、和設置在與上述一對第一臂大致垂直的方向并在其兩端與該一對第一臂的兩端連接的一對第二臂形成,
上述引出電極在上述振動緩沖部的上述第一臂與第二臂的連接點經由貫通孔與第一電極或者第二電極連接。
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