[發(fā)明專利]在不連續(xù)基底上形成紋理的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680009497.0
• 申請(qǐng)日: 2016-02-11
• 公開（公告）號(hào): CN107466380B
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·M·特爾默倫;B·J·蒂圖萊爾;A·J·范埃芬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 莫福托尼克斯控股有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 彭立兵;林柏楠

用于紋理化或圖案化不連續(xù)基底如顯示、照明或太陽能電池板的輥?至?板方法，所述方法包括這樣的步驟，即供應(yīng)刻印用清漆，用刻印紋理紋理化或圖案化刻印用清漆，其中刻印紋理通過開孔和凸起形成，由此在刻印紋理中形成容積以獲得已刻印清漆，并且任選地隨后固化已刻印清漆以獲得已固化紋理化或圖案化層，其特征在于使用在其邊緣包含更大的容積的區(qū)域的刻印紋理，和使用楊氏模量為0.1千兆帕斯卡(GPa)至10千兆帕斯卡(GPa)的柔性壓模實(shí)施紋理化或圖案化。

本發(fā)明涉及在不連續(xù)基底或板如顯示、照明或太陽能電池板上通過用刻印紋理刻印清漆(lacquer)形成紋理或圖案、然后固化已刻印清漆、在不連續(xù)基底或板上得到另外的功能紋理化層的方法。該功能特別可以在光管理層到憎水層、裝飾用或用于生物傳感器的寬范圍內(nèi)選擇。本發(fā)明進(jìn)一步涉及刻印清漆以在不連續(xù)基底或板上形成紋理或圖案的壓模(stamp)和紋理化的基底或板材。

在裝置上使用功能紋理化層是一個(gè)重要的問題。這樣的層的巧妙使用可以增強(qiáng)性能、降低成本或改善產(chǎn)品的視覺外觀。例如擴(kuò)散層用于顯示器，使得可以使用更薄的LED背光概念和從側(cè)面照亮顯示器。另一個(gè)新的高科技機(jī)會(huì)是將功能紋理化層整合進(jìn)太陽能電池板以改善其效率或整合進(jìn)有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)照明板以提取更多的光。

功能紋理化層可以使用壓印(imprint lithography)制造。在此情況中，基底(substrate)或模具(mold)或兩側(cè)使用清漆(樹脂或抗蝕劑(resist))涂覆。在將壓膜壓到基底上、其中間具有清漆后，將紋理化層固化至固相。固化方法可以是熱或通過使用UV光。早在1978年，這一技術(shù)已經(jīng)在美國專利4,128,369中提及。進(jìn)一步的早期工作由Chou在1995完成。他顯示了通過使用剛性模具可以在高速大批量生產(chǎn)中(美國專利5,772,905)或者在Stephen Y.Chou,Peter R.Krauss,Preston J.Renstrom(Appl.Phys.Lett.67(1995)3114–3116)的文章中復(fù)制低于25nm的紋理。以后顯示了輥在剛性模具或彎曲薄金屬片上施加壓力從而復(fù)制紋理的使用(Hua Tan,Andrew Gilbertson,Stephen Y.Chou,J.Vac.Sci.Technol.,B 16(1998)3926–3928)。

許多研究院和公司繼續(xù)進(jìn)行了這一工作，得到了不同的方法。

在半導(dǎo)體工業(yè)中，通過與轉(zhuǎn)移方法、材料和精確定位一起使用剛性壓模使用板-至-板刻印，如美國專利6,334,960、美國專利申請(qǐng)2004/0065976和美國專利8,432,548中所述。

US 2006/0177532 A1描述了一種板-至-板刻印方法以控制一定量的液體從容積縫隙中擠出，所述容積縫隙是在包括在基底中的模具和與其疊加的基底的區(qū)域之間劃定的，其特征是改變液體與模板和基底之一之間毛細(xì)管力。為此，該方法包括在液體與模板和基底之一之間產(chǎn)生毛細(xì)管力并改變力的量級(jí)以產(chǎn)生力的梯度。

US 2006/0266244 A1描述了板-至-板刻設(shè)備，其具有配置為夾持基底的基底板、配置為夾持刻印模板的模板夾具，刻印模板或模板夾具具有配置為被刻印在基底臺(tái)上或基底上以形成刻印對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的模板對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，刻印模板具有具有已知空間關(guān)系的功能圖案，以及配置為確定刻印對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置的對(duì)準(zhǔn)傳感器。

US 2011/0097827 A1描述了一種板-至-板刻印方法中的圖案形成方法。該方法將液體樹脂材料放置在工件基底上，將一個(gè)模板壓在樹脂材料上并測量模板凸出物的下表面和工件基底的上表面的距離。模板包括圖案形成區(qū)域和在圖案形成區(qū)域周圍的周邊區(qū)域。用于電路圖案形成的圖案在圖案形成區(qū)域中形成并且在周邊區(qū)域中形成凸出物。該方法通過固化在擠壓模板的狀態(tài)下的樹脂材料形成樹脂圖案，并且可以從樹脂圖案分離模板。