[發明專利]聚合物及正型抗蝕劑組合物在審
| 申請號： | 201680009481.X | 申請日： | 2016-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN107207666A | 公開（公告）日： | 2017-09-26 |
| 發明（設計）人： | 星野學 | 申請（專利權）人： | 日本瑞翁株式會社 |
| 主分類號： | C08F212/06 | 分類號： | C08F212/06;C08F220/22;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙)11413 | 代理人： | 趙曦,劉繼富 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚合物 正型抗蝕劑 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種聚合物，其含有α-甲基苯乙烯單元和α-氯丙烯酸甲酯單元，
分子量超過80000的成分的比例為6.0％以下。
2.根據權利要求1所述的聚合物，其中，分子量分布Mw/Mn為1.25以上。
3.一種正型抗蝕劑組合物，其包含權利要求1或2所述的聚合物和溶劑。
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