[發(fā)明專利]聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體及其制造方法和用途

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680009021.7
• 申請(qǐng)日: 2016-02-03
• 公開（公告）號(hào): CN107207760B
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 菅原司;市川正則;越山淳;戶張光治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C08J9/26
• 分類號(hào): C08J9/26;B01D71/64;B01J20/26
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 楊宏軍

本發(fā)明提供對(duì)金屬等雜質(zhì)的除去性能優(yōu)異、且應(yīng)力、斷裂伸長率等也優(yōu)異的聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體以及其制造方法、使用該多孔質(zhì)體來進(jìn)行分離及/或吸附的方法、由該多孔質(zhì)體形成的分離材料、吸附材料及過濾介質(zhì)、以及包含該多孔質(zhì)體的層疊體及過濾裝置。一種聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體，其中，聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺具有選自由羧基、鹽型羧基及?NH?鍵組成的組中的至少一者。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體以及其制造方法、使用該多孔質(zhì)體來進(jìn)行分離及/或吸附的方法、由該多孔質(zhì)體形成的分離材料、吸附材料及過濾介質(zhì)、以及包含該多孔質(zhì)體的層疊體及過濾裝置。

背景技術(shù)

對(duì)于半導(dǎo)體裝置而言，隨著對(duì)高性能·高功能化、低電力消耗化的要求提高，電路圖案的微細(xì)化正在發(fā)展，伴隨于此，將會(huì)引起制造成品率降低的污染金屬除去的需求變得非常高。因此，在用于向基板賦予疏水性的保護(hù)膜形成用藥液、硅晶片的清洗液等藥液中不包含鐵、鎳等污染金屬是令人期望的。

對(duì)于半導(dǎo)體裝置的制造工序中使用的上述那樣的藥液而言，為了預(yù)先將鐵、鎳等污染金屬除去，可利用過濾裝置等進(jìn)行凈化。過濾裝置通常具備使用了多孔質(zhì)膜的過濾介質(zhì)。

為了除去金屬離子等雜質(zhì)，納米粒子等微小物質(zhì)也可被除去的多孔質(zhì)膜是令人期望的。作為可從在半導(dǎo)體裝置等用途中使用的藥液、樹脂材料中除去雜質(zhì)的過濾膜，通常為尼龍、聚乙烯、聚丙烯、PTFE 等，例如，已知通過使用尼龍等過濾膜也可除去有機(jī)系的雜質(zhì)(例如，專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利第4637476號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

然而，由尼龍形成的膜的耐酸性弱，因此存在難以用酸清洗、難以將混入或附著于過濾器本身的雜質(zhì)除去的問題。此外，由聚乙烯形成的膜存在對(duì)必須從用于半導(dǎo)體裝置制造工序的藥液中除去的鐵、鎳等雜質(zhì)的除去率低的問題。

此外，用于過濾介質(zhì)的多孔質(zhì)膜由于在工業(yè)上被多次重復(fù)使用，因此具有耐久性(應(yīng)力、斷裂伸長率高等)的多孔質(zhì)膜是優(yōu)選的。

本發(fā)明是鑒于上述情況而作出的，其目的在于提供對(duì)金屬等雜質(zhì)的除去性能優(yōu)異、且應(yīng)力、斷裂伸長率等也優(yōu)異的聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體以及其制造方法、使用該多孔質(zhì)體來進(jìn)行分離及/ 或吸附的方法、由該多孔質(zhì)體形成的分離材料、吸附材料及過濾介質(zhì)、以及包含該多孔質(zhì)體的層疊體及過濾裝置。

用于解決課題的手段

本申請(qǐng)的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，具有選自由羧基、鹽型羧基及-NH-鍵組成的組中的至少一者的聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體不會(huì)損害由聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺帶來的應(yīng)力、斷裂伸長率等，而且至少因其多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)而使得金屬除去性能優(yōu)異，從而完成了本發(fā)明。

本發(fā)明的第一方式為聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體，其中，聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺具有選自由羧基、鹽型羧基及-NH- 鍵組成的組中的至少一者。

本發(fā)明的第二方式為本發(fā)明的第一方式的聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體的制造方法，所述制造方法包括由聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺中的酰亞胺鍵的一部分形成羧基或鹽型羧基的工序。

本發(fā)明的第三方式為進(jìn)行分離及/或吸附的方法，所述方法使用本發(fā)明的第一方式的聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體，所述分離可包含選自由過濾、離析、除去、捕獲、純化及篩分組成的組中的至少一者。

本發(fā)明的第四方式為分離材料，其由本發(fā)明的第一方式的聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體形成。

本發(fā)明的第五方式為吸附材料，其由本發(fā)明的第一方式的聚酰亞胺及/或聚酰胺酰亞胺多孔質(zhì)體形成。