[發(fā)明專(zhuān)利]檢查裝置以及檢查系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680008565.1
• 申請(qǐng)日: 2016-01-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107209126B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡田敬夫;田中隆;竹下洸資
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 博世包裝技術(shù)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/88
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 72001 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司
• 代理人: 閆小龍;杜荔南<國(guó)際申請(qǐng)>=PCT/JP

1.一種檢查裝置，其中，具備：

照明部，對(duì)具有亮部和比所述亮部昏暗的暗部的被檢物進(jìn)行照明；

光路分割部，將來(lái)自被所述照明部照明后的所述被檢物的物光分割為通過(guò)分別不同的光路的第一光和第二光；

濾光器，使通過(guò)所述光路分割部后的所述第一光的光量降低；

第一攝像部，在其中，通過(guò)所述濾光器后的所述第一光進(jìn)行成像；

第二攝像部，在其中，通過(guò)所述光路分割部后的所述第二光進(jìn)行成像；以及

檢查部，根據(jù)由所述第一攝像部攝像的亮部的信息和由所述第二攝像部攝像的暗部的信息檢查所述被檢物的缺陷的有無(wú)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

具備以能旋轉(zhuǎn)的方式載置所述被檢物的保持部，

在所述第一攝像部和所述第二攝像部中分別呈線(xiàn)狀地排列有多個(gè)光電變換元件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述光路分割部具有包含分束器的棱鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述光路分割部具有反射構(gòu)件，所述反射構(gòu)件包含以分別不同的角度傾斜的相鄰的第一反射面和第二反射面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其中，具備：

圖像處理部，將由所述第一攝像部攝像的亮部的圖像和由所述第二攝像部攝像的暗部的圖像合成；以及

顯示部，對(duì)由所述圖像處理部處理后的圖像進(jìn)行顯示。

6.一種檢查系統(tǒng)，其中，具備：

概略圓盤(pán)狀的轉(zhuǎn)子主體，能以軸為中心旋轉(zhuǎn)；

工作臺(tái)，在所述轉(zhuǎn)子主體的外周緣以能旋轉(zhuǎn)的方式支承所述被檢物；

蓋子，從上方按壓所述被檢物；以及

根據(jù)權(quán)利要求1至5的任一項(xiàng)所述的檢查裝置，對(duì)放置于所述工作臺(tái)的所述被檢物進(jìn)行檢查。