[發明專利]臭氧氣體產生裝置及臭氧氣體產生裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201680007700.0
• 申請日: 2016-02-10
• 公開（公告）號: CN107428529B
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 松野敬
• 申請（專利權）人: 住友精密工業株式會社
• 主分類號: C01B13/11
• 分類號: C01B13/11
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;褚瑤楊

本發明提供一種臭氧氣體產生裝置及臭氧氣體產生裝置的制造方法。該臭氧氣體產生裝置具備：一對電極(11)，隔開規定間隔彼此對置地配置；一對電介質(12)，分別設置在一對電極的彼此對置的面；以及功能膜(13)，設置在一對電介質的彼此對置的面中的至少一側。而且，功能膜含有氧化鈦及氧化鈮的晶系的化合物。

技術領域

本發明涉及一種臭氧氣體產生裝置及臭氧氣體產生裝置的制造方法。

背景技術

以往，已知有臭氧氣體產生裝置。這種臭氧氣體產生裝置，例如已在國際公開WO2011/039971號中公開。

上述國際公開WO2011/039971號中，公開有無需將氮氣等其他氣體添加到原料氣體中而產生高濃度的臭氧氣體的臭氧氣體產生裝置。具體而言，上述國際公開WO2011/039971號的臭氧氣體產生裝置具備：一對電介質，隔開規定間隔彼此對置地配置；一對電極，分別配置在一對電介質的外側且在一對電介質之間產生放電；以及功能膜，設置在一對電介質的彼此對置的面中的至少一側。該臭氧氣體產生裝置的功能膜含有：選自鈮、鉭、鉬、鉻的1種或2種金屬的第1金屬氧化物、以及選自鈦、鎢、鋅、鐵的1種或2種金屬的第2金屬氧化物。

以往技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開WO2011/039971號

發明內容

發明要解決的技術課題

如上述國際公開WO2011/039971號那樣的以往的臭氧氣體產生裝置中，由于功能膜表面的金屬氧化物的結構不同，有時臭氧產生性能產生變動。因此，期待一種無需將氮氣等其他氣體添加到原料氣體中，而能夠更穩定地產生高濃度的臭氧氣體的臭氧氣體產生裝置。

本發明是為了解決上述課題而完成的，本發明的目的之一在于提供一種無需將氮氣等其他氣體添加到原料氣體中，而能夠更穩定地產生高濃度的臭氧氣體的臭氧氣體產生裝置及臭氧氣體產生裝置的制造方法。

用于解決技術課題的手段

為了解決上述課題，本申請發明人深入研究的結果，發現：將設置在一對電介質的彼此對置的面中的至少一側的功能膜以含有氧化鈦及氧化鈮的晶系的化合物的方式形成，由此，無需將氮氣等其他氣體添加到原料氣體中，而能夠更穩定地產生高濃度的臭氧氣體。即，基于本發明的第1方面的臭氧氣體產生裝置具備：一對電極，隔開規定間隔彼此對置地配置；一對電介質，分別設置在一對電極的彼此對置的面；以及功能膜，設置在一對電介質的彼此對置的面中的至少一側，功能膜含有氧化鈦及氧化鈮的晶系的化合物。

如上所述，基于本發明的第1方面的臭氧氣體產生裝置中，通過功能膜含有氧化鈦及氧化鈮的晶系的化合物，在不將氮氣等其他氣體添加到原料氣體中而產生臭氧氣體時，能夠抑制臭氧產生性能的變動。由此，無需將氮氣等其他氣體添加到原料氣體中，而能夠更穩定地產生高濃度的臭氧氣體。

基于上述第1方面的臭氧氣體產生裝置中，功能膜的氧化鈦及氧化鈮的晶系的化合物優選由以摩爾數計Nb₂O₅成為TiO₂的0.1倍以上且6倍以下的氧化鈦及氧化鈮所生成。若如此構成，則能夠從以摩爾數計Nb₂O₅成為TiO₂的0.1倍以上且6倍以下的氧化鈦及氧化鈮中生成如TiNb₂O₇及Ti₂Nb₁₀O₂₉那樣的的晶系的化合物。

基于上述第1方面的臭氧氣體產生裝置中，功能膜優選還含有氧化鈦的固溶體。若如此構成，則通過氧化鈦及氧化鈮的晶系的化合物與氧化鈦的固溶體這兩者的作用，而能夠更穩定地產生高濃度的臭氧氣體。