[發(fā)明專利]檢查方法以及檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680007245.4
• 申請日: 2016-06-27
• 公開（公告）號: CN107209054B
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中田智;網(wǎng)干稔;執(zhí)行和浩;渡邊英治
• 申請（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會社
• 主分類號: G01H17/00
• 分類號: G01H17/00;G01M99/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 張麗

具備：第一判定部(101)，根據(jù)測量數(shù)據(jù)組相對于基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組(11)的基準(zhǔn)空間(30)的馬氏距離進(jìn)行判定，將判定為異常的測量數(shù)據(jù)組設(shè)為測量異常數(shù)據(jù)組；濾波處理部(102)，應(yīng)用根據(jù)通過基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組(11)以及測量異常數(shù)據(jù)組的獨立分量分析得到的測量異常系數(shù)設(shè)定的測量異常濾波器(71)而作為校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組(4)以及校正測量異常數(shù)據(jù)組(43)；以及第二判定部(103)，根據(jù)校正測量異常數(shù)據(jù)組(43)相對于校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組(4)的校正基準(zhǔn)空間(80)的馬氏距離判定是正常還是異常。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及例如用于振動檢查或圖像檢查工序中的不良判定等的檢查方法以及檢查裝置。

背景技術(shù)

關(guān)于以往的檢查方法，在進(jìn)行正常或者異常判定的檢查方法中制作基于正常數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)空間，根據(jù)檢查對象數(shù)據(jù)在基準(zhǔn)空間中的馬氏距離與閾值的大小關(guān)系來判定檢查對象數(shù)據(jù)是正常還是異常(例如，專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2005－121639號公報

發(fā)明內(nèi)容

以往的檢查方法以及檢查裝置制作基于良品工件的正常數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)空間，通過相對于基準(zhǔn)空間的馬氏距離與閾值的大小比較來判定檢查對象數(shù)據(jù)是正常還是異常，但馬氏距離是表示與制作基準(zhǔn)空間的正常數(shù)據(jù)的近似程度的指標(biāo)，所以不被進(jìn)行正常或者異常的二值化處理，存在灰色區(qū)域。因此，存在若閾值的設(shè)定不適當(dāng)則誤判增加的問題。

作為解決上述問題的方法，考慮如下方法：蓄積異常數(shù)據(jù)，制作基于異常數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)空間，將對象數(shù)據(jù)在基于異常數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)空間中的馬氏距離與對象數(shù)據(jù)在基于正常數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)空間中的馬氏距離進(jìn)行比較，從而對異常模式進(jìn)行分類，并反饋到設(shè)計以避免發(fā)生該異常模式。

但是，對于雖然工件本身是良品工件，卻由于測量異常而成為異常數(shù)據(jù)、且難以去除測量異常的檢查來說，存在難以通過上述方法減少誤判的問題。

另外，在發(fā)生頻度小的不良模式或者今后有可能發(fā)生的未知的不良模式中，存在制作基于異常數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)空間、設(shè)定閾值本身就困難的問題。

本發(fā)明是為了解決上述課題而完成的，其目的在于提供一種降低測量異常所導(dǎo)致的誤判率、并且降低發(fā)生頻度小的不良模式或者今后有可能發(fā)生的未知的不良模式的誤判率的檢查方法以及檢查裝置。

本發(fā)明提供一種檢查方法，具備：

第一判定工序，根據(jù)通過被檢查工件的測量得到的測量數(shù)據(jù)組相對于基準(zhǔn)空間的馬氏距離來判定是正常還是異常，將判定為異常的所述測量數(shù)據(jù)組設(shè)為測量異常數(shù)據(jù)組，該基準(zhǔn)空間是基于通過良品工件的測量得到的基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組的空間；

濾波處理工序，將所述基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及所述測量異常數(shù)據(jù)組施加到降低特征量的濾波器而作為校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及校正測量異常數(shù)據(jù)組；以及

第二判定工序，根據(jù)所述校正測量異常數(shù)據(jù)組相對于校正基準(zhǔn)空間的馬氏距離來判定是正常還是異常，該校正基準(zhǔn)空間是基于所述校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組的空間，

其中，所述濾波器是根據(jù)通過所述基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及所述測量異常數(shù)據(jù)組的獨立分量分析得到的測量異常系數(shù)設(shè)定的。

另外，本發(fā)明提供一種檢查裝置，具備：

第一判定部，根據(jù)通過被檢查工件的測量得到的測量數(shù)據(jù)組相對于基準(zhǔn)空間的馬氏距離來判定是正常還是異常，將判定為異常的所述測量數(shù)據(jù)組設(shè)為測量異常數(shù)據(jù)組，該基準(zhǔn)空間是基于通過良品工件的測量得到的基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組的空間；

濾波處理部，將所述基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及所述測量異常數(shù)據(jù)組施加到降低特征量的濾波器而作為校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及校正測量異常數(shù)據(jù)組；以及