[發(fā)明專利]檢查方法以及檢查裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680007245.4
• 申請(qǐng)日: 2016-06-27
• 公開（公告）號(hào): CN107209054B
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中田智;網(wǎng)干稔;執(zhí)行和浩;渡邊英治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01H17/00
• 分類號(hào): G01H17/00;G01M99/00
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 張麗

1.一種檢查方法，具備：

第一判定工序，根據(jù)通過(guò)被檢查工件的測(cè)量得到的測(cè)量數(shù)據(jù)組相對(duì)于基準(zhǔn)空間的馬氏距離來(lái)判定是正常還是異常，將判定為異常的所述測(cè)量數(shù)據(jù)組設(shè)為測(cè)量異常數(shù)據(jù)組，該基準(zhǔn)空間是基于通過(guò)良品工件的測(cè)量得到的基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組的空間；

濾波處理工序，將所述基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及所述測(cè)量異常數(shù)據(jù)組施加到僅減小被誤判為不良工件的良品工件的馬氏距離的濾波器而作為校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及校正測(cè)量異常數(shù)據(jù)組；以及

第二判定工序，根據(jù)所述校正測(cè)量異常數(shù)據(jù)組相對(duì)于校正基準(zhǔn)空間的馬氏距離來(lái)判定是正常還是異常，該校正基準(zhǔn)空間是基于所述校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組的空間，

其中，

所述濾波器是根據(jù)對(duì)所述基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及在所述第二判定工序中判定為正常的所述測(cè)量異常數(shù)據(jù)組進(jìn)行獨(dú)立分量分析得到的測(cè)量異常系數(shù)設(shè)定的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中，

所述濾波處理工序通過(guò)投影進(jìn)行，該投影是基于對(duì)包含所述測(cè)量異常系數(shù)的矩陣進(jìn)行QR分解而得到的矩陣的投影。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中，

所述濾波處理工序通過(guò)除法運(yùn)算進(jìn)行，該除法運(yùn)算是基于將所述測(cè)量異常系數(shù)作為指數(shù)函數(shù)的指數(shù)而得到的矢量的除法運(yùn)算。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的檢查方法，其中，

關(guān)于所述濾波器，僅選定所述測(cè)量異常系數(shù)的絕對(duì)值的積分值比預(yù)先設(shè)定的規(guī)定值大的濾波器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的檢查方法，其中，

用2維區(qū)域來(lái)表現(xiàn)所述測(cè)量異常系數(shù)，關(guān)于所述濾波器，僅選定：關(guān)于包含于所述測(cè)量異常系數(shù)的各點(diǎn)的單位圓內(nèi)的所述測(cè)量異常系數(shù)的合計(jì)值的絕對(duì)值的、在整個(gè)區(qū)域的積分值，比預(yù)先設(shè)定的規(guī)定值大的濾波器。

6.一種檢查裝置，具備：

第一判定部，根據(jù)通過(guò)被檢查工件的測(cè)量得到的測(cè)量數(shù)據(jù)組相對(duì)于基準(zhǔn)空間的馬氏距離來(lái)判定是正常還是異常，將判定為異常的所述測(cè)量數(shù)據(jù)組設(shè)為測(cè)量異常數(shù)據(jù)組，該基準(zhǔn)空間是基于通過(guò)良品工件的測(cè)量得到的基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組的空間；

濾波處理部，將所述基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及所述測(cè)量異常數(shù)據(jù)組施加到僅減小被誤判為不良工件的良品工件的馬氏距離的濾波器而作為校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及校正測(cè)量異常數(shù)據(jù)組；以及

第二判定部，根據(jù)所述校正測(cè)量異常數(shù)據(jù)組相對(duì)于校正基準(zhǔn)空間的馬氏距離來(lái)判定是正常還是異常，該校正基準(zhǔn)空間是基于所述校正基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組的空間，

其中，

所述濾波器是根據(jù)對(duì)所述基準(zhǔn)正常數(shù)據(jù)組以及在所述第二判定工序中判定為正常的所述測(cè)量異常數(shù)據(jù)組進(jìn)行獨(dú)立分量分析得到的測(cè)量異常系數(shù)設(shè)定的。