[發明專利]研磨墊有效
| 申請號： | 201680006010.3 | 申請日： | 2016-03-14 |
| 公開（公告）號： | CN107107307B | 公開（公告）日： | 2020-06-26 |
| 發明（設計）人： | 村上陽平;大嶋伸之;中野裕之 | 申請（專利權）人： | 霓達杜邦股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/24 | 分類號： | B24B37/24;C08G18/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 | ||
【權利要求書】：
1.一種研磨墊，其由發泡聚氨酯形成，
通過25℃下的脈沖NMR測定求出的所述發泡聚氨酯中的S相的含有比例大于70％。
2.根據權利要求1所述的研磨墊，其中，通過在60℃下的脈沖NMR測定求出的所述發泡聚氨酯中的S相的含有比例與通過25℃下的脈沖NMR測定求出的所述發泡聚氨酯中的S相的含有比例之比為80％以上。
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