[發明專利]輻射熱計型THz檢測器

有效

• 申請號: 201680005713.4
• 申請日: 2016-01-13
• 公開（公告）號: CN107209055B
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 北浦隆介;石原正敏;山崎理弘;高橋宏典
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02;G01N21/3581;G01R29/08;H01Q19/30
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦;黃浩

本發明的輻射熱計型THz檢測器具備接收并放射波長λ的THz波的指向性天線(1)、與指向性天線(1)相對配置的收信天線(2)、及檢測由流經收信天線(2)的電流引起的發熱的輻射熱計(4)，且指向性天線(1)在俯視時與收信天線(2)重疊，指向性天線(1)的長度方向長被設定為比收信天線(2)的長度方向長要短。

技術領域

本發明涉及一種輻射熱計型THz檢測器。

背景技術

輻射熱計為利用電阻體(或導體)的電阻值根據溫度變化而變化的性質的熱(紅外線)檢測組件，若電阻體的溫度變化率大時，則被稱為熱敏電阻。

輻射熱計型THz檢測器為檢測兆赫頻率帯(波長λ為30μm以上1mm以下)的電磁波(THz波)的裝置，其被期待應用于物質的解析技術等(參照例如專利文獻1、專利文獻2)。在這些文獻中所記載的檢測器利用吸收膜吸收THz波、或利用天線接收THz波，并將由此所產生的熱輸入輻射熱計而間接地檢測出THz波。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特許5109169號公報

[專利文獻2]日本特開2010‐261935號公報

發明內容

[發明所要解決的問題]

然而，期待一種與現有的輻射熱計型THz檢測器相比可檢測出更微弱的電磁波的輻射熱計型THz檢測器。

本發明鑒于如此的課題而完成，其目的在于提供一種能夠檢測出微弱的電磁波的輻射熱計型THz檢測器。

[解決問題的技術手段]

為解決上述的問題，本發明的輻射熱計型THz檢測器的特征在于：其具備接收并放射THz波的指向性天線、與前述指向性天線相對配置的收信天線、及檢測由流經前述收信天線的電流引起的發熱的輻射熱計，其中前述指向性天線在俯視時與前述收信天線重疊，且前述指向性天線的長度方向長比前述收信天線的長度方向長要短。

因指向性天線比收信天線短，故入射至指向性天線的THz波的相位變化后被再放射而由收信天線接收。指向性天線在俯視時與收信天線重疊，且因收信天線經由指向性天線的相位調整而能夠配置于接收大的電場振幅的位置，故對應收信而大的電流流動，而由電阻體(或導體)造成發熱。因發熱量利用輻射熱計而被檢測出，故該裝置作為輻射熱計型THz檢測器而發揮功能。在指向性天線的長度方向與收信天線的長度方向為一致時，收信天線能夠接收更大的電場振幅。

另外，本發明的特征在于將前述THz波的波長設為λ，則前述指向性天線與前述收信天線的距離為λ/4(作為相位相當于π/2)以下。該情形下，因入射至收信天線的THz波與自指向性天線再放射的THz波相對于收信天線在入射側成為同相而增強、在反入射側則成為反相而減弱，故在入射側具有強指向性。

另外，本發明的輻射熱計型THz檢測器的特征在于：其進一步具備反射天線，其配置于與前述指向性天線共同夾著前述收信天線的位置。在THz波入射至反射天線時，因再放射的THz波能夠入射至收信天線，故通過適當地調整反射天線的位置，能夠增大收信天線所接收的電場振幅。

另外，本發明的輻射熱計型THz檢測器的特征在于：其具備具有凹部的蓋部件、及被前述蓋部件蓋住且與前述蓋部件共同劃分密閉空間的支撐基板，且前述指向性天線固定于前述凹部的底面，前述指向性天線、前述收信天線、及前述輻射熱計配置于前述密閉空間內。

由于將上述天線群緊湊地收納于密閉空間內，故能夠構成對環境變動的耐性高、且小型的檢測器。