[發(fā)明專利]玻璃薄膜的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201680005488.4
• 申請日: 2016-03-17
• 公開（公告）號: CN107107129B
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 秋山修二;石田直也;鑒繼薰
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: B08B11/00
• 分類號: B08B11/00;B08B3/02;C03C23/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉影娜

本發(fā)明提供玻璃薄膜的制造方法，包括：清洗工序，在該清洗工序中，將帶狀玻璃薄膜(G)以平置姿勢搬運，并且在該搬運路線上的清洗區(qū)域(R1)利用清洗液(L)對其進行清洗；以及除液工序，在該除液工序中，在搬運路線上的除液區(qū)域(R2)相對于清洗后的帶狀玻璃薄膜(G)噴射氣體(A)，除去在清洗工序中附著的清洗液(L)，相對于帶狀玻璃薄膜(G)的上表面(Ga)的整個寬度噴射氣體(A)，利用其壓力阻擋附著于上表面(Ga)的清洗液(L)朝下游側(cè)移送，在上表面(Ga)上形成積液部(LL)。由此，帶狀玻璃薄膜(G)中的通過積液部(LL)中的部位(Gc)容易沿著原本的輸送方向筆直前進，能夠防止該部位(Gc)、進而帶狀玻璃薄膜(G)從原本的輸送方向偏斜。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種玻璃薄膜的制造方法，包括：清洗工序，在該清洗工序中，一邊搬運帶狀玻璃薄膜一邊利用清洗液對其進行清洗；以及除液工序，在該除液工序中，通過相對于清洗后的帶狀玻璃薄膜噴射氣體，除去在清洗工序中附著于帶狀玻璃薄膜的清洗液。

背景技術(shù)

如公知那樣，對于在液晶顯示器、等離子顯示器、以及有機EL顯示器等平板顯示器(FPD)中使用的玻璃基板，伴隨著朝向輕型化的要求高漲，不斷推進薄板化。然后，為了響應(yīng)這樣的要求，從而開發(fā)并制造厚度為300μm以下、或者薄板化至200μm以下的玻璃薄膜。

作為用于制造該玻璃薄膜的工序，具有：清洗工序，在該清洗工序中，一邊搬運成為玻璃薄膜的原料的帶狀玻璃薄膜一邊利用清洗液(例如水)對其進行清洗；除液工序，在該除液工序中，通過相對于清洗后的帶狀玻璃薄膜噴射氣體(例如空氣)，從而除去在清洗工序中附著于帶狀玻璃薄膜的清洗液。除液工序后的帶狀玻璃薄膜例如被卷繞成卷狀而作為玻璃卷被保管。

在此，對比文件1沒有公開用于相對于帶狀玻璃薄膜執(zhí)行清洗工序以及除液工序的方法，但已經(jīng)公開了用于相對于一片片切出的玻璃基板執(zhí)行清洗工序以及除液工序的方法的一個例子。

在玻璃基板的通常的清洗方法中，在玻璃基板的搬運路線的上游側(cè)，相對于玻璃基板從清洗用噴嘴噴射清洗液，由此執(zhí)行清洗工序。然后，如圖7所示，在玻璃基板GP的搬運路線的下游側(cè)，相對于沿搬運方向T搬運的玻璃基板GP，從第一吹拂器100與第二吹拂器101分別噴射氣體A，由此執(zhí)行除液工序。

第一吹拂器100以及第二吹拂器101均朝向玻璃基板GP的搬運路線的上游側(cè)噴射氣體A。另外，在俯視觀察玻璃基板GP的情況下，兩吹拂器100、101均以相對于玻璃基板GP的搬運方向T傾斜的朝向噴射氣體A。

在先技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2014-38914號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

然而，在將這樣的方法應(yīng)用于帶狀玻璃薄膜的清洗工序以及除液工序的情況下，產(chǎn)生了以下那樣的應(yīng)解決的問題。

即，在將該方法應(yīng)用于帶狀玻璃薄膜的清洗工序以及除液工序的情況下，如圖8所示，在從兩吹拂器100、101分別噴射的氣體A的壓力的作用下，除液工序中的帶狀玻璃薄膜G朝向與搬運方向T正交的寬度方向的一方側(cè)(在寬度方向上成為氣體A的下風(fēng)的一側(cè))受到負荷。在此，由于帶狀玻璃薄膜G的厚度極薄，因此每單位長度的重量非常輕。因此，存在受到負荷的帶狀玻璃薄膜G從原本的輸送方向(搬運方向T)偏斜、使該帶狀玻璃薄膜G產(chǎn)生扭曲的情況。然后，在以該扭曲的產(chǎn)生為起因而作用于帶狀玻璃薄膜G的應(yīng)力的作用下，有時會導(dǎo)致該帶狀玻璃薄膜G破損。

另外，即便在帶狀玻璃薄膜沒有破損的情況下，例如在將除液工序后的帶狀玻璃薄膜繞著卷芯卷繞成卷狀而制作玻璃卷那樣的情況下，產(chǎn)生以下這樣的問題。即，以除液工序中的帶狀玻璃薄膜G從原本的輸送方向起的偏斜為起因，有時在玻璃卷中在呈卷狀重疊的帶狀玻璃薄膜G的層的相互間產(chǎn)生朝寬度方向(卷芯的軸向)的偏移，使制作出的玻璃卷陷入不適于保管的狀態(tài)。