[發明專利]固體攝像裝置、紅外線吸收性組合物及平坦化膜形成用硬化性組合物

在審

• 申請號: 201680004533.4
• 申請日: 2016-01-20
• 公開（公告）號: CN107112332A
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 畠山耕治;高見朋宏;嶋田遵生子
• 申請（專利權）人: JSR株式會社
• 主分類號: H01L27/14
• 分類號: H01L27/14;G02B5/22;H04N5/369;H04N9/07
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 楊貝貝,臧建明

技術領域

本發明是涉及一種固體攝像裝置、可用于固體攝像裝置的紅外線吸收性組合物及平坦化膜形成用硬化性組合物。

背景技術

用于照相機等攝像設備的固體攝像裝置針對每一像素包括對可見光進行檢測的光接收元件(可見光檢測用傳感器)，根據自外界入射的可見光而產生電信號，對該電信號進行處理來形成攝像圖像。固體攝像裝置的光接收部的構成己知有使用半導體基板而形成的互補式金屬氧化物半導體(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)影像傳感器或電荷耦合元件(Charge-coupled Device，CCD)影像傳感器等。

固體攝像裝置為了準確地檢測入射至光接收元件的可見光的強度，也對成為噪聲成分的可見光以外的光進行遮蔽。例如，有在入射光到達至光接收元件之前，使用紅外線截止濾波器來遮蔽紅外光成分的技術。在該情況下，幾乎僅可見光范圍的光到達至光接收元件，故能夠進行噪聲成分比較少的傳感動作。

另一方面，將利用近紅外線的動作擷取(motion capture)或距離識別(空間識別)等傳感功能賦予至固體攝像裝置的需求提高。為了實現所述情況，嘗試將采用飛行時間(Time Of Flight，TOF)方式的距離圖像傳感器安裝至固體攝像裝置。

所謂TOF方式，為如下技術：自光源輸出的照射光由攝像對象物反射，對由光接收部探測到所述反射光為止的時間進行測定，由此測定自光源至攝像對象物的距離。測距是使用光的相位差。即，根據至攝像對象物為止的距離而在反射光產生相位差，故在TOF方式中，將所述相位差轉換為時間差，基于該時間差與光的速度，針對每一像素來計測至攝像對象物為止的距離。

利用此種TOF方式的固體攝像裝置需要針對每一像素來檢測可見光的強度與近紅外線的強度，故需要在各像素包括可見光檢測用的光接收元件與近紅外線檢測用的光接收元件。例如，作為在各像素設置可見光檢測用的光接收元件與近紅外線檢測用的光接收元件的例子，已知有專利文獻1中所記載的技術。

在專利文獻1中揭示有一種固體攝像裝置，其是將包含兩個帶通濾波器與紅外線濾通器的光學濾光片陣列、及包含RGB像素陣列與TOF像素陣列的像素陣列組合而成。在專利文獻1中所記載的技術中，通過兩個帶通濾波器而使可見光與紅外光選擇性地通過，僅在TOF像素陣列上設置紅外線濾通器而使紅外線通過。由此，在RGB像素陣列入射有可見光及紅外線，在TOF像素陣列入射有紅外線，故可在各自的像素陣列檢測出所需的光線。

在使用TOF方式的固體攝像裝置中，通過將檢測紅外光的像素陣列附加至檢測可見光的RGB像素陣列，紅外線截止濾波器的性能或制造容易性變得重要。作為紅外線截止濾波器的例子，在專利文獻2中揭示有如下技術：使用金屬氧化物及二亞銨(diimmonium)色素作為紅外線吸收劑，并旋轉涂布紅外線吸收性液狀組合物。另外，在專利文獻3中，作為紅外線吸收性組合物而揭示一種含有金屬氧化物與色素的紅外線截止濾波器。進而，在專利文獻4中，揭示有一種硬化性樹脂組合物，其含有在波長600nm～850nm的范圍內具有最大吸收波長的色素，且可通過涂布法而形成。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2014-103657號公報

專利文獻2：日本專利特開2013-137337號公報

專利文獻3：日本專利特開2013-151675號公報

專利文獻4：日本專利特開2014-130343號公報

發明內容

發明所要解決的問題

且說，如將攝像功能附加至智能電話或平板終端等攜帶型信息設備，固體攝像裝置被用于許多電子設備中。而且，隨著用途的擴大，對固體攝像裝置要求薄型化。

然而，專利文獻1中所揭示的固體攝像裝置在RGB像素陣列及TOF像素陣列的上表面設置有微透鏡陣列，另外追加有兩個帶通濾波器、可見光濾通器及紅外線濾通器等。即，除像素陣列以外，以不同零件的形式設置有光學濾光片，故無法實現固體攝像裝置的薄型化。

為了實現固體攝像裝置的小型化，考慮使光學濾光片直接層疊于像素陣列的上表面。在此情況下，需要將形成特定光學濾光片的層與形成其他光學濾光片的層直接層疊，或者在其間夾持其他中間層而層疊。另外，為了實現固體攝像裝置的薄型化，需要將光學濾光片薄膜化。但是，關于專利文獻2至專利文獻4中所揭示的用以形成光學濾光片的組合物及光學濾光片層，未對層疊界面的密接性或薄膜化進行任何考慮。