[發明專利]多重氣體提供方法及多重氣體提供裝置

有效

• 申請號: 201680004480.6
• 申請日: 2016-02-19
• 公開（公告）號: CN107110411B
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 玄俊鎮;趙柱鉉;姜喆求;金龍基;閔禎基
• 申請（專利權）人: 株式會社EUGENE科技
• 主分類號: F16L41/00
• 分類號: F16L41/00;F16L41/03;F16L41/16
• 代理公司: 北京紐盟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11456
• 代理人: 許玉順

本發明的多重氣體提供方法，各分支線路上分別設置控制閥及流量儀；由控制器調節氣體供給量；控制器具有：第1控制方式，以測量流量相對于部分請求量的比率為基準控制各控制閥，在比率為已設定范圍以外時，調節控制閥開度，控制閥開度調節單位隨著測量流量和部分請求量的差異增減；第2控制方式，對于測量流量與部分請求量相比為既定值以上的分支的控制閥開度，按第3調節單位減少；對于測量流量與部分請求量相比小于既定值的分支的控制閥開度，按第3調節單位增加；第3控制方式，在第2控制方式持續既定時間以上的狀態下，將測量流量為既定范圍以內的分支的控制閥開度固定，且對測量流量為既定范圍以外的分支的控制閥，回歸到第2控制方式。

技術領域

本發明涉及多重氣體提供方法及多重氣體提供裝置，更詳細地涉及利用控制閥及流量儀提供通過分支線路的氣體的方法及裝置。

背景技術

最近，半導體制造中使用的硅晶片趨向大型化，由此在半導體制造裝置中也通過多個分支線路進行向腔體的處理用氣體的供給的同時，要求比較精密地控制各分支線路之間的氣體流量比。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種能夠準確地控制通過分支線路供給的氣體的多重氣體提供方法及多重氣體提供裝置。

本發明的其它目的根據下面的詳細說明和附圖會更加清楚。

根據本發明的一實施例的多重氣體提供方法，在從供給一種以上的氣體的主供給線路分支并提供上述氣體的多個分支線路上分別設置多個控制閥及多個流量儀；通過與上述流量儀及上述控制閥分別連接的控制器調節上述氣體的供給量來提供上述氣體；上述控制器具有如下的第1控制方式：以各分支線路為基準，以通過上述流量儀測量的流量相對于部分請求量的比率為基準控制各上述控制閥；上述第1控制方式在上述所測量的流量相對于上述部分請求量的比率為已設定的范圍以外時，調節上述控制閥的開度，上述控制閥的開度調節單位隨著上述測量的流量和上述部分請求量的差異增減，上述控制器具有如下的第2控制方式：以各分支線路為基準，在通過上述流量儀測量的流量與上述部分請求量相比為已設定的數值以上時，將上述控制閥的開度以第3調節單位為基準減少；通過上述流量儀測量的流量與上述部分請求量相比小于已設定的數值時，將上述控制閥的開度以第3調節單位為基準增加。

上述第1控制方式可以如下：上述控制閥為完全開放狀態時，上述控制閥的開度調節單位為第1調節單位；上述控制閥為完全封閉狀態時，上述控制閥的開度調節單位為第2調節單位；上述第1及第2調節單位大于上述控制閥為完全開放狀態和完全封閉狀態之間的上述控制閥的開度調節單位，上述第1調節單位大于上述第2調節單位。

上述控制器可以具有如下的第3控制方式：在上述第2控制方式持續已設定的時間以上的狀態下，在通過上述流量儀測量的流量為已設定范圍以內時固定上述控制閥的開度，通過上述流量儀測量的流量為已設定的范圍以外時回歸到上述第2控制方式。

上述控制器可以具有如下的第3控制方式：在上述第2控制方式持續已設定的時間以上的狀態下，在通過上述流量儀測量的作為流量的總和即整體提供量為已設定的范圍以內時固定上述控制閥的開度，上述整體提供量為已設定的范圍以外時回歸到上述第2控制方式。

上述控制器可以將各上述控制閥調節為完全開放狀態之后，計算通過上述流量儀測量的流量的總和即整體提供量，上述整體提供量與上述部分請求量的總和即整體請求量相比為已設定的數值以下時，將設置在與上述主供給線路連接的一個以上的輔助供給線路上來調節上述氣體的流量的流量調節儀的開度增加。