[發(fā)明專利]多重氣體提供方法及多重氣體提供裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680004480.6
• 申請(qǐng)日: 2016-02-19
• 公開（公告）號(hào): CN107110411B
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 玄俊鎮(zhèn);趙柱鉉;姜喆求;金龍基;閔禎基
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社EUGENE科技
• 主分類號(hào): F16L41/00
• 分類號(hào): F16L41/00;F16L41/03;F16L41/16
• 代理公司: 北京紐盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11456
• 代理人: 許玉順

1.一種多重氣體提供方法，其特征在于，

在從供給一種以上氣體的主供給線路分支并提供上述氣體的多個(gè)分支線路上分別設(shè)置控制閥及流量?jī)x；

通過與上述流量?jī)x及上述控制閥分別連接的控制器調(diào)節(jié)上述氣體的供給量來提供上述氣體；

上述控制器具有如下的第1控制方式：以各分支線路為基準(zhǔn)，以通過上述流量?jī)x測(cè)量的流量相對(duì)于部分請(qǐng)求量的比率為基準(zhǔn)控制各上述控制閥；上述第1控制方式對(duì)于上述測(cè)量的流量相對(duì)于上述部分請(qǐng)求量的比率為已設(shè)定的范圍以外的所述分支線路上設(shè)置的上述控制閥調(diào)節(jié)開度，上述控制閥的開度調(diào)節(jié)單位隨著上述測(cè)量的流量和上述部分請(qǐng)求量的差異增減，

上述控制器具有如下的第2控制方式：對(duì)于通過上述流量?jī)x測(cè)量的流量與上述部分請(qǐng)求量相比為已設(shè)定的數(shù)值以上的分支線路上設(shè)置的上述控制閥的開度，所述控制器以第3調(diào)節(jié)單位為基準(zhǔn)減少；對(duì)于通過上述流量?jī)x測(cè)量的流量與上述部分請(qǐng)求量相比小于已設(shè)定的數(shù)值的分支線路上設(shè)置的上述控制閥的開度，所述控制器以第3調(diào)節(jié)單位為基準(zhǔn)增加，

上述控制器具有如下的第3控制方式：在上述第2控制方式持續(xù)已設(shè)定的時(shí)間以上的狀態(tài)下，所述控制器將通過上述流量?jī)x測(cè)量的流量為已設(shè)定范圍以內(nèi)的所述分支線路上設(shè)置的上述控制閥的開度固定，且對(duì)于通過上述流量?jī)x測(cè)量的流量為已設(shè)定的范圍以外的所述分支線路上設(shè)置的所述控制閥，所述控制器回歸到上述第2控制方式。

2.如權(quán)利要求1所述的多重氣體提供方法，其特征在于，

上述第1控制方式中，根據(jù)所述流量的比率控制各所述控制閥之前，上述控制器將完全開放狀態(tài)的上述控制閥的開度設(shè)定為50％，將完全封閉狀態(tài)的上述控制閥的開度設(shè)定為3％。

3.如權(quán)利要求1所述的多重氣體提供方法，其特征在于，

上述控制器將各上述控制閥調(diào)節(jié)為完全開放狀態(tài)之后，計(jì)算通過全部上述流量?jī)x測(cè)量的流量的總和即整體提供量，上述整體提供量與上述部分請(qǐng)求量的總和即整體請(qǐng)求量相比為已設(shè)定的數(shù)值以下時(shí)，將設(shè)置在與上述主供給線路連接的一個(gè)以上的輔助供給線路上來調(diào)節(jié)上述氣體的流量的流量調(diào)節(jié)儀的開度增加。

4.一種多重氣體提供方法，其特征在于，

在從供給一種以上氣體的主供給線路分支并提供上述氣體的多個(gè)分支線路上分別設(shè)置控制閥及流量?jī)x；

通過與上述流量?jī)x及上述控制閥分別連接的控制器調(diào)節(jié)上述氣體的供給量來提供上述氣體；

上述控制器具有如下的第1控制方式：以各分支線路為基準(zhǔn)，以通過上述流量?jī)x測(cè)量的流量相對(duì)于部分請(qǐng)求量的比率為基準(zhǔn)控制各上述控制閥；上述第1控制方式對(duì)于上述測(cè)量的流量相對(duì)于上述部分請(qǐng)求量的比率為已設(shè)定的范圍以外的所述分支線路上設(shè)置的上述控制閥調(diào)節(jié)開度，上述控制閥的開度調(diào)節(jié)單位隨著上述測(cè)量的流量和上述部分請(qǐng)求量的差異增減，

上述控制器具有如下的第2控制方式：對(duì)于通過上述流量?jī)x測(cè)量的流量與上述部分請(qǐng)求量相比為已設(shè)定的數(shù)值以上的分支線路上設(shè)置的上述控制閥的開度，所述控制器以第3調(diào)節(jié)單位為基準(zhǔn)減少；對(duì)于通過上述流量?jī)x測(cè)量的流量與上述部分請(qǐng)求量相比小于已設(shè)定的數(shù)值的分支線路上設(shè)置的上述控制閥的開度，所述控制器以第3調(diào)節(jié)單位為基準(zhǔn)增加，

上述控制器具有如下的第3控制方式：在全部所述控制閥的上述第2控制方式持續(xù)已設(shè)定的時(shí)間以上的狀態(tài)下，在通過全部上述流量?jī)x測(cè)量的作為流量的總和即整體提供量為已設(shè)定的范圍以內(nèi)時(shí)，所述控制器固定全部上述控制閥的開度，并且，所述控制器在上述整體提供量為已設(shè)定的范圍以外時(shí)回歸到上述第2控制方式。