[發(fā)明專(zhuān)利]陰極組件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201680003515.4
• 申請(qǐng)日: 2016-03-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107109632A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-08-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中村真也;山本弘輝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社愛(ài)發(fā)科
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/34;C23C14/00
• 代理公司: 北京英特普羅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11015
• 代理人: 齊永紅

1.一種陰極組件，用于濺射裝置，所述陰極組件具有：絕緣材質(zhì)的靶；與該靶的一面接合的背板；以及以背板的靶側(cè)為下，與比靶的外周端更向外延伸的背板下側(cè)的延展部相對(duì)設(shè)置的環(huán)形遮蔽板，其特征在于：

背板具有相對(duì)于延展部凸出設(shè)置的接合部，使遮蔽板的內(nèi)周邊部位于在靶已接合在該接合部上的狀態(tài)下從接合部向外探出的靶的探出部和背板的延展部之間的間隙中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極組件，其特征在于：

所述遮蔽板可分為多個(gè)部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陰極組件，其特征在于：

所述靶的探出部和遮蔽板重疊相對(duì)的部分的長(zhǎng)度在所述靶的厚度以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項(xiàng)所述的陰極組件，其特征在于：

所述遮蔽板的內(nèi)周邊部在所述間隙中位于相比所述靶的探出部的中間點(diǎn)更靠近所述接合部側(cè)的位置上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項(xiàng)所述的陰極組件，其特征在于：

所述遮蔽板和所述背板之間的間隙長(zhǎng)度以及所述遮蔽板和所述靶之間的間隙長(zhǎng)度分別設(shè)定為在0.5mm～2mm的范圍內(nèi)。