[發明專利]原子束源

有效

• 申請號: 201680002242.1
• 申請日: 2016-08-18
• 公開（公告）號: CN106664790B
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 辻裕之;高橋知典;近藤好正;北村和正;赤尾隆嘉;長江智毅
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: H05H3/02
• 分類號: H05H3/02;H05H1/46
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;陳彥

1.一種原子束源，其具備：

筒狀的陰極，其具有設置了能夠射出原子束的射出口的射出部；

設置在所述陰極的內部的棒狀的第一陽極；以及

與所述第一陽極分開設置在所述陰極的內部的棒狀的第二陽極；

通過將從所述陰極的形狀、所述第一陽極的形狀、所述第二陽極的形狀、以及所述陰極與所述第一陽極和所述第二陽極的位置關系組成的組中選擇的至少一個設為預定的構成，從而抑制濺射粒子的射出，其中所述濺射粒子是由所述第一陽極與所述第二陽極之間的等離子體生成的陽離子與所述陰極、所述第一陽極及所述第二陽極中的至少一個發生碰撞而產生的。

2.根據權利要求1所述的原子束源，所述第一陽極及所述第二陽極以各自的中心軸位于與所述射出部平行的配置面上的方式相互平行地配置，將所述第一陽極與所述第二陽極之間的中心軸間的距離設為L，并將所述配置面與所述射出部之間的距離設為H時，(H+L)×H²/L的值為750以上1670以下的范圍內。

3.根據權利要求1或2所述的原子束源，對于所述陰極，當觀察與該陰極的軸方向垂直的截面時，該陰極的內側為四邊形且該四邊形的一個以上的角為倒角形狀，或者觀察所述截面時，該陰極的內側為圓形或橢圓形。

4.根據權利要求3所述的原子束源，所述倒角形狀為半徑5mm以上的R面以及高度和寬度分別為15mm以上的切角面中的任一種。

5.根據權利要求3所述的原子束源，當觀察所述截面時，所述陰極從中心至所述內側為止的距離的最小值X_min與從中心至所述內側為止的距離的最大值X_max滿足0.5≤X_min/X_max≤1。

6.根據權利要求4所述的原子束源，當觀察所述截面時，所述陰極從中心至所述內側為止的距離的最小值X_min與從中心至所述內側為止的距離的最大值X_max滿足0.5≤X_min/X_max≤1。

7.根據權利要求1或2所述的原子束源，所述射出口形成為開口面積從所述陰極的外表面朝向內表面減小的傾向。

8.根據權利要求7所述的原子束源，對于所述射出口，將所述外表面與所述內表面連接的直線相對于與所述射出部垂直的方向的傾斜度為4°以上20°以下。

9.根據權利要求7所述的原子束源，通過在所述陰極的內表面側設置過濾器部，從而所述射出口形成為開口面積從所述陰極的外表面朝向內表面減小的傾向。

10.根據權利要求8所述的原子束源，通過在所述陰極的內表面側設置過濾器部，從而所述射出口形成為開口面積從所述陰極的外表面朝向內表面減小的傾向。

11.根據權利要求1或2所述的原子束源，所述陰極具備：捕集濺射成分的捕集部、以及連接于所述捕集部并將所述濺射成分排出至外部的排出部。

12.根據權利要求1或2所述的原子束源，所述第一陽極及所述第二陽極在相互相對一側的相反側具有突起。

13.根據權利要求6所述的原子束源，通過在所述陰極的內表面側設置過濾器部，從而所述射出口形成為開口面積從所述陰極的外表面朝向內表面減小的傾向，

對于所述射出口，將所述外表面與所述內表面連接的直線相對于與所述射出部垂直的方向的傾斜度為4°以上20°以下，

所述陰極具備：捕集濺射成分的捕集部、以及連接于所述捕集部并將所述濺射成分排出至外部的排出部，

所述第一陽極及所述第二陽極在相互相對一側的相反側具有突起。