[實用新型]一種靜電保護(hù)產(chǎn)品芯片貼合裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201621467004.1 | 申請日: | 2016-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN206370408U | 公開(公告)日: | 2017-08-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 鐘金旻;溫國豪;黃正信 | 申請(專利權(quán))人: | 麗智電子(昆山)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司32224 | 代理人: | 王玉,董建林 |
| 地址: | 215300 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 靜電 保護(hù) 產(chǎn)品 芯片 貼合 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種靜電保護(hù)產(chǎn)品芯片貼合裝置,屬于靜電防護(hù)原件技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
電子領(lǐng)域中產(chǎn)品的發(fā)展趨勢被要求尺寸縮減、性能提高和整合度提升。目前,現(xiàn)行靜電防護(hù)原件制作流程中,芯片與載板貼合多采用膠作為介質(zhì),因此點(diǎn)膠工藝為一標(biāo)準(zhǔn)工藝,且現(xiàn)行點(diǎn)膠工藝無法有效率控制膠量,經(jīng)常性有膠量過多與膠量過少的不良情形發(fā)生,進(jìn)而影響生產(chǎn)良率與產(chǎn)品質(zhì)量。
實用新型內(nèi)容
本實用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種靜電保護(hù)產(chǎn)品芯片貼合裝置,改善芯片貼合工藝中經(jīng)常性異常、膠量過多與膠量過少的狀況,縮短靜電防護(hù)原件制作的時間。
為解決上述技術(shù)問題,本實用新型提供一種靜電保護(hù)產(chǎn)品芯片貼合裝置,其特征是,包括芯片和藍(lán)膜,所述芯片和藍(lán)膜之間設(shè)有導(dǎo)電貼片薄膜,所述藍(lán)膜下方設(shè)有用于將芯片往上頂起的頂針,所述芯片上方設(shè)有用于將芯片往上吸起的真空吸嘴,所述真空吸嘴將貼附有導(dǎo)電貼片薄膜的芯片吸起后粘貼到引線框架上。
進(jìn)一步地,所述芯片的厚度為50 ~300um。
進(jìn)一步地,所述導(dǎo)電貼片薄膜的厚度為20~100um。
進(jìn)一步地,所述藍(lán)膜的厚度為100~200um。
進(jìn)一步地,所述導(dǎo)電貼片薄膜的材質(zhì)為導(dǎo)電金屬,所述導(dǎo)電金屬上設(shè)有黏著膠。
進(jìn)一步地,所述藍(lán)膜的材質(zhì)為塑料。
本實用新型所達(dá)到的有益效果:本實用新型在使用導(dǎo)電貼片薄膜后,可省略點(diǎn)膠工藝,直接進(jìn)行芯片貼合,改善了芯片貼合工藝中經(jīng)常性異常、膠量過多與膠量過少的狀況,縮短了靜電防護(hù)原件制作的時間。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,大大提高了工作效率,降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
附圖說明
圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
各主要附圖標(biāo)記的含義為:
1.芯片,2.藍(lán)膜,3.導(dǎo)電貼片薄膜,4.頂針,5.真空吸嘴。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術(shù)方案,而不能以此來限制本實用新型的保護(hù)范圍。
如圖1所示,一種靜電保護(hù)產(chǎn)品芯片貼合裝置,包括芯片1和藍(lán)膜2,所述芯片1和藍(lán)膜2之間設(shè)有導(dǎo)電貼片薄膜3。所述芯片1的厚度為50um,所述導(dǎo)電貼片薄膜3的厚度為20um,所述藍(lán)膜2的厚度為100um,所述導(dǎo)電貼片薄膜的材質(zhì)為導(dǎo)電金屬,所述導(dǎo)電金屬上設(shè)有黏著膠,所述藍(lán)膜2的材質(zhì)為塑料。
所述藍(lán)膜2下方設(shè)有用于將芯片1往上頂起的頂針4,所述芯片1上方設(shè)有用于將芯片1往上吸起的真空吸嘴5,所述真空吸嘴5將貼附有導(dǎo)電貼片薄膜3的芯片1吸起后粘貼到引線框架上。
一種靜電保護(hù)產(chǎn)品芯片貼合方法,包括以下步驟:
(1)劃片:將芯片1和藍(lán)膜2之間的膠帶更換為導(dǎo)電貼片薄膜3進(jìn)行切割,切割工具采用高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片,芯片1被沿著切割槽切成晶圓。
(2)貼片:頂針4從藍(lán)膜2下面將芯片1往上頂,同時真空吸嘴5將芯片1往上吸,將芯片1與藍(lán)膜2脫離;將貼附有導(dǎo)電貼片薄膜3的芯片1粘貼到引線框架上。
芯片切割工藝中,原使用的承載膠帶為UV Tape, 本實用新型需使用導(dǎo)電貼片薄膜替代;在芯片與載板貼合工藝中,原工藝需點(diǎn)膠于載板上,藉以作為黏著介質(zhì),在使用導(dǎo)電貼片薄膜后,可省略點(diǎn)膠工藝,直接進(jìn)行芯片貼合,改善了芯片貼合工藝中經(jīng)常性異常、膠量過多與膠量過少的狀況,縮短了靜電防護(hù)原件制作的時間。
由于采用上述技術(shù)方案,本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,大大提高了工作效率,降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和變形,這些改進(jìn)和變形也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





