[實用新型]一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統有效
| 申請號: | 201621452405.X | 申請日: | 2016-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN206282827U | 公開(公告)日: | 2017-06-27 |
| 發明(設計)人: | 華重慶;許慶;潘志平 | 申請(專利權)人: | 安徽銀欣新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京知識律師事務所32207 | 代理人: | 蔣海軍,胡鋒鋒 |
| 地址: | 243000 安徽省馬鞍山市*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 生產 用工 冷卻系統 | ||
技術領域
本實用新型屬于管道清洗技術領域,更具體地說,涉及一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統。
背景技術
隨著社會和經濟的飛速發展,能源的需要日益增加,化石能源的日趨枯竭和給生態環境造成的污染,嚴重威脅著社會和經濟的可持續發展。因此,迫切需要采用可再生能源進行替代。太陽能作為一種取之不盡,用之不竭的綠色可再生能源,已經在世界范圍內得到了廣泛的關注。
太陽能電池原理主要是以半導體材料硅為基體,利用擴散工藝在硅晶體中摻入雜質:當摻入硼、磷等雜質時,硅晶體中就會存在著一個空穴,形成n型半導體;同樣,摻入磷原子以后,硅晶體中就會有一個電子,形成p型半導體,p型半導體與n型半導體結合在一起形成pn結,當太陽光照射硅晶體后,pn結中n型半導體的空穴往p型區移動,而p型區中的電子往n型區移動,從而形成從n型區到p型區的電流,在pn結中形成電勢差,這就形成了太陽能電池。
太陽能電池片的加工工藝分為硅片檢測—表面制絨—擴散制結—去磷硅玻璃—濕法刻蝕—鍍減反射膜—絲網印刷—快速燒結等。具體的,硅片檢測主要用于對來料硅片的一些技術參數,如硅片表面不平整度、少子壽命等進行在線測量;經檢測后,利用硅的各向異性腐蝕在硅片表面進行制絨處理,然后采用擴散爐對太陽能電池PN結進行制造。PN結制造完成后,通過化學腐蝕法使其產生化學反應生成可溶性的絡和物,以去除擴散制結后在硅片表面形成的一層磷硅玻璃,然后使用濕法刻蝕工藝對太陽能電池周邊的摻雜硅進行刻蝕,以去除電池邊緣的PN結。濕法刻蝕完成后,在太陽能電池表面沉積一層氮化硅減反射膜,從而減少表面反射,提高電池的轉換效率;然后采用絲網印刷技術在電池表面上制作正、負兩個電極;并經燒結爐進行快速燒結,在硅片上形成銀電極。
在太陽能電池片生產過程中,需要使用冷卻水對擴散爐、PECVD、燒結爐等工藝設備進行冷卻處理,現有技術中通常采用冷卻水管向各工藝設備輸送冷卻水,但經長期使用后,冷卻管路上易生菌,有膠狀物附著在管壁上,從而容易造成機臺管路堵塞,導致機臺當機;同時產生的鐵屑也容易堵塞管道,不利于車間設備的降溫。
因此,如何防止冷卻管道發生堵塞對于保證生產工藝的正常運行非常重要。
實用新型內容
1.實用新型要解決的技術問題
本實用新型的目的在于克服現有太陽能電池片生產設備用冷卻水管道易發生堵塞,從而影響車間設備正常運行的不足,提供了一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統。采用本實用新型的冷卻系統能夠對冷卻水管道中的膠狀物及鐵屑進行及時清理,從而保證各工藝設備的正常運行。
2.技術方案
為達到上述目的,本實用新型提供的技術方案為:
本實用新型的一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統,包括冷卻水機組和清洗機組,所述冷卻水機組與待冷卻工藝設備之間設有出水管路及回水管路,所述清洗機組通過清洗管路與出水管路及回水管路相連。
更進一步的,所述的出水管路與回水管路上均設有流量計。
更進一步的,所述的清洗機組通過加藥泵與混合藥桶相連,且混合藥桶內設有液位計。
更進一步的,所述的清洗管路包括清洗出液管和清洗回液管,其中,清洗出液管的兩端分別連接清洗機組和出水管路,清洗回液管的兩端分別連接清洗機組和回水管路。
更進一步的,所述的出水管路、回水管路、清洗出液管和清洗回液管上均設有控制閥。
更進一步的,所述的出水管路包括出水總管和出水支管,出水總管的進水端與冷卻水機組相連,其出水端通過出水支管與各個待冷卻工藝設備相連;所述的回水管路包括回水總管和回水支管,所述回水總管的出水端與冷卻水機組相連,其進水端通過回水支管與各個待冷卻工藝設備相連。
更進一步的,所述的清洗出液管包括第一清洗出液管和第二清洗出液管,所述的清洗回液管包括第一清洗回液管和第二清洗回液管,其中,第一清洗出液管及第二清洗出液管的進液端均與清洗機組相連,第一清洗出液管的出液端通過清洗支管與各出水支管相連,第二清洗出液管的出液端與出水總管相連;所述第一清洗回液管及第二清洗回液管的出液端均與清洗機組相連,第一清洗回液管的進液端通過回液支管與各回水支管相連,第二清洗回液管的進液端與回水總管相連。
3.有益效果
采用本實用新型提供的技術方案,與現有技術相比,具有如下有益效果:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





