[實用新型]一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統有效
| 申請號: | 201621452405.X | 申請日: | 2016-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN206282827U | 公開(公告)日: | 2017-06-27 |
| 發明(設計)人: | 華重慶;許慶;潘志平 | 申請(專利權)人: | 安徽銀欣新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京知識律師事務所32207 | 代理人: | 蔣海軍,胡鋒鋒 |
| 地址: | 243000 安徽省馬鞍山市*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 生產 用工 冷卻系統 | ||
1.一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統,包括冷卻水機組(1),所述冷卻水機組(1)與待冷卻工藝設備之間設有出水管路及回水管路,其特征在于:還包括清洗機組(8),該清洗機組(8)通過清洗管路與出水管路及回水管路相連。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統,其特征在于:所述的出水管路與回水管路上均設有流量計。
3.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統,其特征在于:所述的清洗機組(8)通過加藥泵與混合藥桶(9)相連,且混合藥桶(9)內設有液位計。
4.根據權利要求1-3中任一項所述的一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統,其特征在于:所述的清洗管路包括清洗出液管和清洗回液管,其中,清洗出液管的兩端分別連接清洗機組(8)和出水管路,清洗回液管的兩端分別連接清洗機組(8)和回水管路。
5.根據權利要求4所述的一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統,其特征在于:所述的出水管路、回水管路、清洗出液管和清洗回液管上均設有控制閥。
6.根據權利要求5所述的一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統,其特征在于:所述的出水管路包括出水總管(201)和出水支管(301),出水總管(201)的進水端與冷卻水機組(1)相連,其出水端通過出水支管(301)與各個待冷卻工藝設備相連;所述的回水管路包括回水總管(202)和回水支管(302),所述回水總管(202)的出水端與冷卻水機組(1)相連,其進水端通過回水支管(302)與各個待冷卻工藝設備相連。
7.根據權利要求6所述的一種太陽能電池片生產用工藝冷卻系統,其特征在于:所述的清洗出液管包括第一清洗出液管(601)和第二清洗出液管(701),所述的清洗回液管包括第一清洗回液管(602)和第二清洗回液管(702),其中,第一清洗出液管(601)及第二清洗出液管(701)的進液端均與清洗機組(8)相連,第一清洗出液管(601)的出液端通過清洗支管(501)與各出水支管(301)相連,第二清洗出液管(701)的出液端與出水總管(201)相連;所述第一清洗回液管(602)及第二清洗回液管(702)的出液端均與清洗機組(8)相連,第一清洗回液管(602)的進液端通過回液支管(502)與各回水支管(302)相連,第二清洗回液管(702)的進液端與回水總管(202)相連。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





