[實用新型]一種通用掩模夾具

有效

• 申請號: 201621445366.0
• 申請日: 2016-12-27
• 公開（公告）號: CN206363076U
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 劉維維;華衛群;沙云峰
• 申請（專利權）人: 無錫中微掩模電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/687
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙)32231
• 代理人: 康瀟

技術領域

本實用新型涉及掩模夾具技術領域，尤其涉及一種通用掩模夾具。

背景技術

MASK(掩模):單片機掩模是指程序數據已經做成光刻版，在單片機生產的過程中把程序做進去。優點是:程序可靠、成本低。缺點:批量要求大，每次修改程序就需要重新做光刻板，不同程序不能同時生產，供貨周期長。在半導體制造中，許多芯片工藝步驟采用光刻技術，用于這些步驟的圖形"底片"稱為掩模(也稱作"掩模")，其作用是:在硅片上選定的區域中對一個不透明的圖形模板遮蓋，繼而下面的腐蝕或擴散將只影響選定的區域以外的區域。

掩模夾具的出現大大方便了掩模的固定，但是目前階段的掩模夾具，存在諸多的不足之處，例如，對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現一種夾具掩模通用，更換比較麻煩，實用價值低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種通用掩模夾具，以解決上述背景技術中提出的對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現一種夾具掩模通用，更換比較麻煩，實用價值低的問題。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種通用掩模夾具，包括掩模夾具專用工作臺，所述掩模夾具專用工作臺的邊緣位置處安裝有邊框，所述邊框的內側安裝有掩模夾具，所述掩模夾具的中間位置安裝有伸縮套，且伸縮套與邊框通過第一伸縮桿連接，所述伸縮套的上方安裝有把手，且把手與伸縮套通過連接螺栓固定連接，所述伸縮套的兩側安裝有第二伸縮桿，所述第二伸縮桿的一端安裝有固定架，所述固定架的上方安裝有連接固定板，且連接固定板與邊框的內側通過嵌入孔鑲嵌安裝，所述固定架的底部安裝有第三伸縮桿，所述第三伸縮桿的底部安裝有吸盤，所述掩模夾具專用工作臺的中間位置處設置有掩模放置槽。

優選的，所述掩模夾具共設置有四個，且四個掩模夾具分別安裝在邊框四條邊的內側，且每兩個掩模夾具相互對。

優選的，所述掩模放置槽為網狀結構。

優選的，所述吸盤與掩模夾具專用工作臺之間設置有間隙。

本實用新型的有益效果是，本實用新型設置有掩模夾具專用工作臺，在此工作臺上安裝有四個掩模夾具，在掩模夾具專用工作臺的中間位置設置有掩模放置槽，可以用來放置掩模材料，方便加工，且方便定位，使掩模的固定位置更加精確，且在掩模夾具上設置多三處伸縮桿，可以使裝置進行三維收縮，改變大小，可以對不同大小和形狀的掩模進行固定，增大了裝置的實用性，且此裝置的固定方式，為施壓在掩模邊緣位置，不會影響到掩模內的圖形。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是本實用新型的掩模夾具的結構示意圖。

圖中：1、掩模夾具專用工作臺，2、連接固定板，3、邊框，4、伸縮套，5、第一伸縮桿，6、把手，7、掩模放置槽，8、第二伸縮桿，9、連接螺栓，10、嵌入孔，11、固定架，12、支撐腿，13、第三伸縮桿，14、吸盤，15、掩模夾具。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

請參閱圖1-2，本實用新型提供的一種實施例：一種通用掩模夾具，包括掩模夾具專用工作臺1,掩模夾具專用工作臺1的邊緣位置處安裝有邊框3，掩模夾具專用工作臺1是專為此種夾具設計的工作臺，邊框3的內側安裝有掩模夾具15，掩模夾具15用來固定掩模的裝置，掩模夾具15的中間位置安裝有伸縮套4，且伸縮套4與邊框3通過第一伸縮桿5連接，第一伸縮桿5控制掩模夾具15與掩模放置槽7的距離，伸縮套4的上方安裝有把手6，把手6方便操作，且把手6與伸縮套4通過連接螺栓9固定連接，伸縮套4的兩側安裝有第二伸縮桿8，第二伸縮桿8可以控制兩個吸盤14之間的距離，第二伸縮桿8的一端安裝有固定架11，固定架11的上方安裝有連接固定板2，且連接固定板2與邊框3的內側通過嵌入孔10鑲嵌安裝，固定架11的底部安裝有第三伸縮桿13，第三伸縮桿13用來控制吸盤14深入到掩模放置槽7內，從而固定到掩模上，第三伸縮桿13的底部安裝有吸盤14，掩模夾具專用工作臺1的中間位置處設置有掩模放置槽7，掩模夾具15共設置有四個，且四個掩模夾具15分別安裝在邊框3四條邊的內側，且每兩個掩模夾具15相互對稱，掩模放置槽7為網狀結構，吸盤14與掩模夾具專用工作臺1之間設置有間隙。