[實用新型]一種通用掩模夾具有效
| 申請號： | 201621445366.0 | 申請日： | 2016-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN206363076U | 公開（公告）日： | 2017-07-28 |
| 發明（設計）人： | 劉維維;華衛群;沙云峰 | 申請（專利權）人： | 無錫中微掩模電子有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/687 |
| 代理公司： | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙)32231 | 代理人： | 康瀟 |
| 地址： | 214135 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 通用 夾具 | ||
【權利要求書】：
1.一種通用掩模夾具，包括掩模夾具專用工作臺(1),其特征在于：所述掩模夾具專用工作臺(1)的邊緣位置處安裝有邊框(3)，所述邊框(3)的內側安裝有掩模夾具(15)，所述掩模夾具(15)的中間位置安裝有伸縮套(4)，且伸縮套(4)與邊框(3)通過第一伸縮桿(5)連接，所述伸縮套(4)的上方安裝有把手(6)，且把手(6)與伸縮套(4)通過連接螺栓(9)固定連接，所述伸縮套(4)的兩側安裝有第二伸縮桿(8)，所述第二伸縮桿(8)的一端安裝有固定架(11)，所述固定架(11)的上方安裝有連接固定板(2)，且連接固定板(2)與邊框(3)的內側通過嵌入孔(10)鑲嵌安裝，所述固定架(11)的底部安裝有第三伸縮桿(13)，所述第三伸縮桿(13)的底部安裝有吸盤(14)，所述掩模夾具專用工作臺(1)的中間位置處設置有掩模放置槽(7)。
2.如權利要求1所述的一種通用掩模夾具，其特征在于：所述掩模夾具(15)共設置有四個，且四個掩模夾具(15)分別安裝在邊框(3)四條邊的內側，且每兩個掩模夾具(15)相互對稱。
3.根據權利要求1所述的一種通用掩模夾具，其特征在于：所述掩模放置槽(7)為網狀結構。
4.根據權利要求1所述的一種通用掩模夾具，其特征在于：所述吸盤(14)與掩模夾具專用工作臺(1)之間設置有間隙。
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