[實用新型]光刻機設(shè)備系統(tǒng)及光刻機遠程監(jiān)控系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201621282178.0
• 申請日: 2016-11-25
• 公開（公告）號: CN206946192U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王新旺
• 申請（專利權(quán)）人: 天津津芯微電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11371
• 代理人: 馬維麗

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及光刻機技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種光刻機設(shè)備系統(tǒng)及光刻機遠程監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)

光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可用于制造半導體平臺、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等。

隨著科技的不斷發(fā)展，直寫式光刻機(LDI)因其高精度高效率而逐步投入到印制電路板行業(yè)，因此保證光刻機的設(shè)備運行狀態(tài)正常具有重要的意義。

現(xiàn)有光刻機無法實現(xiàn)運行狀態(tài)監(jiān)測，而且，常常是當設(shè)備出現(xiàn)問題時才能知道設(shè)備狀態(tài)運行不正常，或是由技術(shù)人員定期檢查設(shè)備狀態(tài)，不僅浪費人力物力，而且無法實時了解設(shè)備的運作情況。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種光刻機設(shè)備系統(tǒng)及光刻機遠程監(jiān)控系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)的光刻機無法實現(xiàn)運行狀態(tài)監(jiān)測的技術(shù)問題。

第一方面，本實用新型實施例提供了一種光刻機設(shè)備系統(tǒng)，包括光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊，還包括：信號采集模塊和顯示模塊，其中，

所述光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊分別與所述信號采集模塊相連接，所述信號采集模塊與顯示模塊相連接。

光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊與信號采集模塊相連接，信號采集模塊直接采集光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊的狀態(tài)參數(shù)，并將狀態(tài)參數(shù)顯示在與之相連接的顯示模塊上，從而可以直觀地監(jiān)測光刻機各個模塊的運行狀態(tài)，實現(xiàn)了實時、直觀的監(jiān)測光刻機設(shè)備的運行狀況。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第一種可能的實施方式，其中，所述光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊分別通過傳感器與信號采集模塊相連接。

光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊的下方均設(shè)置有相應(yīng)的傳感器，傳感器將相應(yīng)參數(shù)轉(zhuǎn)化為電信號傳遞給信號采集模塊。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第一方面的第二種可能的實施方式，其中，所述信號采集模塊包括信號調(diào)理器和模數(shù)轉(zhuǎn)換器，其中，

所述信號調(diào)理器對所述傳感器采集的信號進行放大、濾波調(diào)理，輸出模擬信號；

所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器將所述模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第三種可能的實施方式，其中，還包括信號比較模塊和報警模塊，其中，

所述信號采集模塊與所述信號比較模塊相連接，所述信號比較模塊與所述報警模塊相連接。

信號比較模塊可以將采集到的信號與預(yù)設(shè)參數(shù)進行比較，超出預(yù)設(shè)范圍值時，通過與之相連接的報警模塊發(fā)出警報，提醒相關(guān)人員設(shè)備故障，方便及時維修。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第四種可能的實施方式，其中，所述光源模塊為激光器。

隨著科技的不斷發(fā)展，激光直寫式光刻機(LDI)因其高精度高效率而逐步投入到印制電路板行業(yè)，激光器作為光源的應(yīng)用更加廣泛，越來越多的投入到光刻機的生產(chǎn)應(yīng)用中。

第二方面，本實用新型實施例還提供了一種光刻機遠程監(jiān)控系統(tǒng)，包括信號接收模塊以及第一方面及其可能的實施方式所述的光刻機設(shè)備系統(tǒng)，其中，

所述光刻機設(shè)備系統(tǒng)中的信號采集模塊與所述信號接收模塊通信連接。

為了進一步的實時監(jiān)測光刻機設(shè)備的狀態(tài)，在特殊情況下，例如當人員離開時，設(shè)備斷電運行或者運輸過程中，對設(shè)備進行監(jiān)測，本實施例提供了一種光刻機遠程監(jiān)控系統(tǒng)可以實現(xiàn)遠程監(jiān)控光刻機設(shè)備，時刻監(jiān)測設(shè)備的運行狀態(tài)。

結(jié)合第二方面，本實用新型實施例提供了第二方面的第一種可能的實施方式，其中，所述光刻機設(shè)備系統(tǒng)還包括信號加密模塊，其中，

所述信號加密模塊與所述信號采集模塊相連接。

信號加密模塊對采集的數(shù)據(jù)信號進行加密，保證了數(shù)據(jù)的安全性。

結(jié)合第二方面的第一種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第二方面的第二種可能的實施方式，其中，所述信號接收模塊還包括信號解密模塊。

信號解密模塊將加密的數(shù)據(jù)解密解析。

結(jié)合第二方面的第二種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第二方面的第三種可能的實施方式，其中，所述信號加密模塊為數(shù)據(jù)編碼器，所述信號解密模塊為數(shù)據(jù)解碼器。

結(jié)合第二方面，本實用新型實施例提供了第二方面的第四種可能的實施方式，其中，所述信號采集模塊與所述信號接收模塊通過無線通信相連接。