[實用新型]光刻機設(shè)備系統(tǒng)及光刻機遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201621282178.0
• 申請日: 2016-11-25
• 公開（公告）號: CN206946192U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王新旺
• 申請（專利權(quán)）人: 天津津芯微電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11371
• 代理人: 馬維麗

1.一種光刻機設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，包括光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊，還包括：信號采集模塊和顯示模塊，其中，

所述光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊分別通過傳感器與所述信號采集模塊相連接，所述信號采集模塊與所述顯示模塊相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，所述信號采集模塊包括信號調(diào)理器和模數(shù)轉(zhuǎn)換器，其中，

所述信號調(diào)理器對所述傳感器采集的信號進行放大、濾波調(diào)理，輸出模擬信號；

所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器將所述模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，還包括信號比較模塊和報警模塊，其中，

所述信號采集模塊與所述信號比較模塊相連接，所述信號比較模塊與所述報警模塊相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，所述光源模塊為激光器。

5.一種光刻機遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，包括信號接收模塊以及如權(quán)利要求1-4任一項所述的光刻機設(shè)備系統(tǒng)，其中，

所述光刻機設(shè)備系統(tǒng)中的信號采集模塊與所述信號接收模塊通信連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光刻機遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述光刻機設(shè)備系統(tǒng)還包括信號加密模塊，其中，

所述信號加密模塊與所述信號采集模塊相連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光刻機遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述信號接收模塊還包括信號解密模塊。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻機遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述信號加密模塊為數(shù)據(jù)編碼器，所述信號解密模塊為數(shù)據(jù)解碼器。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光刻機遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述信號采集模塊與所述信號接收模塊通過無線通信相連接。