[實(shí)用新型]一種石英舟及取放石英舟的雙叉

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201621217076.0
• 申請(qǐng)日: 2016-11-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206432244U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉宗超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都海威華芯科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 成都華風(fēng)專利事務(wù)所(普通合伙)51223
• 代理人: 徐豐

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及集成電路半導(dǎo)體晶圓生成制造領(lǐng)域，尤其涉及一種石英舟及取放石英舟的雙叉。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過(guò)程中，有部分工藝需要在高溫下進(jìn)行。而在高溫反應(yīng)腔室或高溫反應(yīng)爐需要特殊的載具承載晶圓。石英舟是最為常見(jiàn)的一種載具。石英舟為石英玻璃加工而成。具有耐高溫，耐氧化等特性。晶圓在高溫反應(yīng)后經(jīng)常會(huì)需要從高溫腔室及時(shí)取出。經(jīng)高溫后，石英舟溫度會(huì)很高，取出石英舟時(shí)存在燙傷的風(fēng)險(xiǎn)。手放晶圓到高溫腔室時(shí)，同樣有燙傷的風(fēng)險(xiǎn)。傳統(tǒng)石英舟在高溫條件下并不能很方便取放。高溫燙傷風(fēng)險(xiǎn)較大，取放也不方便。同時(shí)，在晶圓生產(chǎn)工藝調(diào)試過(guò)程中，經(jīng)常會(huì)選擇不同的晶圓放置位置，進(jìn)行測(cè)試和驗(yàn)證。傳統(tǒng)的石英舟只能豎放晶圓，不能解決晶圓平放的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)提供一種石英舟，解決了現(xiàn)有技術(shù)中石英舟由于在高溫條件下使用后取放不方便的技術(shù)問(wèn)題。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種石英舟，包括：舟體和底座，舟體包括相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)U型石英架、用于連接兩個(gè)U型石英架左右側(cè)壁的兩根開(kāi)槽石英棒、靠近所述兩個(gè)開(kāi)槽石英棒均設(shè)置石英管、每個(gè)U型石英架開(kāi)口上設(shè)置一根石英管，底座為貫穿在兩個(gè)U型石英架底部的兩根開(kāi)槽石英棒，位于U型石英架開(kāi)口上石英管兩端的用于對(duì)晶圓限位的圓柱石英臺(tái)階。

進(jìn)一步地，靠近兩個(gè)開(kāi)槽石英棒設(shè)置的石英管位于所述兩個(gè)開(kāi)槽石英棒的上方或者下方。

進(jìn)一步地，靠近所述兩個(gè)開(kāi)槽石英棒設(shè)置的石英管與每個(gè)U型石英架開(kāi)口上設(shè)置的石英管相互垂直。

另一方面，本實(shí)用新型還提供了一種取放石英舟的雙叉，包括把手部和叉子，叉子包括平行的兩個(gè)叉腳，把手部包括叉腳調(diào)節(jié)槽和握持端，兩個(gè)叉腳卡嵌于叉腳調(diào)節(jié)槽內(nèi)，可調(diào)節(jié)兩個(gè)叉腳之間的間距。

采用本實(shí)用新型中的一個(gè)或者多個(gè)技術(shù)方案，具有如下有益效果：

本實(shí)用新型提供的石英舟，由于在舟體上設(shè)置兩組石英管，且兩組石英管分別為橫向設(shè)置和縱向設(shè)置，方便在高溫條件下取放，在該石英舟的上方一組石英管兩端上設(shè)置石英臺(tái)階，便于晶圓平放時(shí)限位和固定。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中石英舟的側(cè)視圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中石英舟豎放晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中石英舟橫放晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中取放石英舟的雙叉的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)提供一種石英舟，解決了現(xiàn)有技術(shù)中石英舟由于在高溫條件下使用后取放不方便的技術(shù)問(wèn)題。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，下面將結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖以及具體的實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種石英舟，如圖1所示，包括舟體和底座，該舟體包括兩個(gè)U型石英架2-1,2-2、用于連接兩個(gè)U型石英架2-1,2-2左右側(cè)壁的兩根開(kāi)槽石英棒3-1,3-2，靠近兩個(gè)開(kāi)槽石英棒2-1,2-2均設(shè)置石英管5-1,5-2，每個(gè)U型石英架2-1,2-2開(kāi)口上設(shè)置一根石英管4-1,4-2，從而形成舟體，兩組石英管5-1,5-2以及4-1,4-2主要作用是方便使用叉子取放石英舟，在該舟體下方的底座為貫穿在兩個(gè)U型石英架1-1,1-2，用于支撐整個(gè)石英舟。位于U型石英架2-1,2-2上石英管4-1,4-2兩端上的用于對(duì)晶圓限位的圓柱石英臺(tái)階6-1,6-2,6-3,6-4，使得晶圓平放時(shí)能夠限位固定晶圓。采用本申請(qǐng)中的石英舟，相較于現(xiàn)有技術(shù)來(lái)說(shuō)，不僅可以實(shí)現(xiàn)晶圓的豎放，還可以實(shí)現(xiàn)晶圓的平放。

在具體的實(shí)施方式中，該靠近兩個(gè)開(kāi)槽石英棒3-1,3-2設(shè)置的石英管5-1,5-2位于該兩個(gè)開(kāi)槽石英棒3-1,3-2的上方或者下方。

靠近兩個(gè)開(kāi)槽石英棒3-1,3-2設(shè)置的石英管5-1,5-2與每個(gè)U型石英架2-1,2-2外側(cè)設(shè)置的石英管4-1,4-2相互垂直，這樣，使得在用叉子取放石英舟時(shí)，從橫向方向和縱向方向都可以取放。

圖2、圖3分別為豎放晶圓和橫放晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖。

另一方面，本實(shí)用新型還提供了一種取放石英舟的雙叉，如圖4所示，包括把手部和叉子，叉子包括平行的兩個(gè)叉腳301，把手部包括叉腳調(diào)節(jié)槽302和握持端303，兩個(gè)叉腳301卡嵌于叉腳調(diào)節(jié)槽302內(nèi)，可調(diào)節(jié)兩個(gè)叉腳301之間的間距。使用該雙叉，可以將石英舟方便地取放。