[實用新型]一種石英舟及取放石英舟的雙叉

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201621217076.0
• 申請日: 2016-11-11
• 公開（公告）號: CN206432244U
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉宗超
• 申請（專利權(quán)）人: 成都海威華芯科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 成都華風(fēng)專利事務(wù)所(普通合伙)51223
• 代理人: 徐豐

1.一種石英舟，其特征在于，包括：舟體和底座，舟體包括相對設(shè)置的兩個U型石英架、用于連接兩個U型石英架左右側(cè)壁的兩根開槽石英棒、靠近所述兩個開槽石英棒均設(shè)置石英管、每個U型石英架開口上設(shè)置一根石英管，底座為貫穿在兩個U型石英架底部的兩根開槽石英棒，位于U型石英架開口上石英管兩端的用于對晶圓限位的圓柱石英臺階。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，靠近兩個開槽石英棒設(shè)置的石英管位于所述兩個開槽石英棒的上方或者下方。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，靠近所述兩個開槽石英棒設(shè)置的石英管與每個U型石英架開口上設(shè)置的石英管相互垂直。

4.一種取放石英舟的雙叉，所述石英舟具體為權(quán)利要求1-3中任一權(quán)項所述的石英舟，其特征在于，包括把手部和叉子，叉子包括平行的兩個叉腳，把手部包括叉腳調(diào)節(jié)槽和握持端，兩個叉腳卡嵌于叉腳調(diào)節(jié)槽內(nèi)，可調(diào)節(jié)兩個叉腳之間的間距。