[實(shí)用新型]一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201621216234.0
• 申請(qǐng)日: 2016-11-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206225341U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-06-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高鵬;劉陽(yáng);羅奕;張應(yīng)紅;孫寧;唐亮;高波;王巖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 桂林電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11340
• 代理人: 但玉梅

1.一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟，包括石英舟本體，所述本體上設(shè)有用于放置硅片的舟槽，其特征在于：所述本體包括中空的中心筒、支撐板和石英棒，支撐板沿中心筒周向均勻設(shè)置在中心筒外側(cè)面上且相對(duì)中心筒軸心線平行；相鄰的所述支撐板間設(shè)有多根石英棒，所述石英棒間平行設(shè)置且對(duì)應(yīng)硅片的下部弧形間隔排列，所述石英棒朝向硅片一側(cè)均勻設(shè)置多個(gè)刻槽，石英棒間的刻槽一一對(duì)應(yīng)并共同構(gòu)成所述舟槽，所述舟槽以中心筒軸心線為中心相對(duì)呈放射性設(shè)置；所述中心筒位于兩相鄰支撐板之間設(shè)置有貫通中心筒內(nèi)腔的排氣口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：所述石英棒為圓弧結(jié)構(gòu)并沿中心筒周向設(shè)置，且所述刻槽沿石英棒圓弧的圓心呈放射性均勻設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：相鄰所述支撐板間的石英棒間相平行設(shè)置，且石英棒兩端到中心筒距離相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：所述刻槽的開(kāi)口處設(shè)有倒角，倒角之間夾角呈50-80°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：所述石英棒由石英圈替代，所述石英圈與中心筒呈同心設(shè)置，并在支撐板設(shè)有對(duì)應(yīng)石英圈固定放置的卡槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：所述中心筒包括同軸設(shè)置的上筒體和下筒體，沿上筒體和下筒體軸心線設(shè)置等徑內(nèi)孔；所述下筒體外徑大于上筒體外徑大小；沿上筒體周向設(shè)置多個(gè)排氣口，所述支撐板設(shè)置在上筒體上并位于相鄰兩排氣口之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：所述中心筒上設(shè)置起吊槽，所述起吊槽位于排氣口上方且開(kāi)口朝下設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：還包括呈圓形的石英底盤(pán)，所述石英底盤(pán)對(duì)應(yīng)同軸設(shè)置中心筒底部，并且所述石英底盤(pán)中間設(shè)置與中心筒內(nèi)徑大小的通孔；所述石英底盤(pán)下端面設(shè)置凸臺(tái)，所述支撐板間上端面平齊，并設(shè)置與所述凸臺(tái)對(duì)應(yīng)的凹槽，所述凹槽底面與中心筒的上端面平齊；所述支撐板下端連接石英底盤(pán)上端面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：所述石英底盤(pán)的上端面設(shè)置與其同心的圓形凹槽，所述圓形凹槽的直徑大小對(duì)應(yīng)舟槽寬度。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于立式擴(kuò)散爐的石英舟,其特征在于：所述石英底盤(pán)下端面的凸臺(tái)上還設(shè)置對(duì)應(yīng)中心筒上端的大小的底部凹槽；支撐板間上端面與中心筒的上端面平齊，在支撐板設(shè)置與凸臺(tái)對(duì)應(yīng)的環(huán)形凹槽。