[實用新型]一種用于立式擴散爐的石英舟

有效

• 申請號: 201621216234.0
• 申請日: 2016-11-11
• 公開（公告）號: CN206225341U
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 高鵬;劉陽;羅奕;張應紅;孫寧;唐亮;高波;王巖
• 申請（專利權）人: 桂林電子科技大學
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京天奇智新知識產權代理有限公司11340
• 代理人: 但玉梅

技術領域

本實用新型涉及石英舟結構技術領域，特別是一種用于立式擴散爐的石英舟。

背景技術

普通石英舟都是長方形的或長條型，而且其舟槽都是垂直其軸心線方向；舟槽的寬度會大于硅片的厚度,舟槽的寬度等于硅片的厚度時，舟槽在插拔過程中會與硅片存在摩擦，損傷硅片，因此舟槽的寬度要大于硅片的厚度以保證硅片方便放置同時避免舟槽與硅片之間存在不必要摩擦劃割。但是這樣也會造成硅片放在石英舟里面并不是完全垂直的,會有一定的傾斜,隨著石英舟的使用,舟槽的寬度會有一定程度的增大。當舟槽寬度增大后,裝在石英舟上的硅片的傾斜度也會增大,相鄰的硅片如果傾斜到一定程度,硅片上面就容易搭到一起。同時，普通擴散爐一般只能放置一個石英舟。現有石英舟存在的缺點有：

1、石英舟隨使用次數增加其舟槽寬度變大時，硅片會傾斜貼合，良品率降低，石英舟可靠性變差；石英舟需經常更換，成本增加。

2、一個石英舟對應一個擴散爐，石英舟呈長條型設置，舟槽之間間隔較大以保證硅片之間間隔及防止相互觸碰；造成石英舟舟槽個數少，單爐的產量低。

3、擴散源在石英舟的路徑不通暢，容易產生波動，擴散均勻性不足，硅片出爐品質差。

實用新型內容

本實用新型的發明目的是，針對上述問題，提供一種用于立式擴散爐的石英舟，適合于立式擴散爐，通過改進石英舟結構，舟槽按圓周方向排列設置，最大化利用石英舟空間；設置弧度角避免防止硅片互搭；同時可以豎直鑲嵌疊加成石英舟組，提高單爐產量。

為達到上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：

一種用于立式擴散爐的石英舟，包括石英舟本體，所述本體上設有用于放置硅片的舟槽，所述本體包括中空的中心筒、支撐板和石英棒，支撐板沿中心筒周向均勻設置在中心筒外側面上且相對中心筒軸心線平行；相鄰的所述支撐板間設有多根石英棒，所述石英棒間平行設置且對應硅片的下部弧形間隔排列，所述石英棒朝向硅片一側均勻設置多個刻槽，石英棒間的刻槽一一對應并共同構成所述舟槽，所述舟槽以中心筒軸心線為中心相對呈放射性設置；所述中心筒位于兩相鄰支撐板之間設置有貫通中心筒內腔的排氣口。

上述中，舟槽由多個刻槽組成，刻槽沿硅片的下部弧形間隔設置并支撐硅片。舟槽以中心筒軸心線為中心相對呈放射性設置這樣可以沿中心筒均勻設置，同時硅片放置時均朝向中心筒軸心線，或者說朝向排氣口；石英舟在工作時，擴散爐在石英舟外側輸入擴散源，擴散源通過石英舟支撐板之間的扇形區并最終通過排氣口進入中心筒內腔排出擴散爐，擴散源通過硅片時方向具有單向性，避免產生波動，擴散不均勻。擴散源在沿硅片擴散的過程是逐漸消耗的，但通過呈扇形排列的硅片時，由于通過量和速度的提高，扇形區后部的硅片接觸的有效擴散源相對前部的硅片接觸有效擴散源大致相同，這樣保證硅片擴散均勻，能夠提高良品率。

優選地，所述石英棒為圓弧結構并沿中心筒周向設置，且所述刻槽沿石英棒圓弧的圓心呈放射性均勻設置。石英棒呈圓弧設置更好地提高舟槽數量，提高石英舟的利用率。

優選地，相鄰所述支撐板間的石英棒間相平行設置，且石英棒兩端到中心筒距離相同。這樣設置加工方便，加工成本低。

優選地，所述刻槽的開口處設有倒角，倒角之間夾角呈50-80°。倒角在于便于硅片準確的插入到矩形卡槽內,而且不會造成硅片的磨損,不會影響硅片的表面質量。優選地，所述石英棒由石英圈替代，所述石英圈與中心筒呈同心設置，并在支撐板設有對應石英圈固定放置的卡槽。

優選地，所述中心筒或/和支撐板的上端面和其對應下端面形狀大小設置對應貼合。這里提供多種石英舟堆疊的結構，包括石英舟間通過中心筒上下對應堆疊；通過支撐板上下對應堆疊，通過中心筒之間和支撐板之間上下對應堆疊。通過堆疊成為石英舟組可以提高單爐產量。

優選地，所述中心筒包括同軸設置的上筒體和下筒體，沿上筒體和下筒體軸心線設置等徑內孔；所述下筒體外徑大于上筒體外徑大小；沿上筒體周向設置多個排氣口，所述支撐板設置在上筒體上并位于相鄰兩排氣口之間。

優選地，所述中心筒上設置起吊槽，所述起吊槽位于排氣口上方且開口朝下設置。起吊槽用于調裝時的調裝固定。