[實(shí)用新型]一種曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201621178136.2
• 申請(qǐng)日: 2016-11-03
• 公開（公告）號(hào): CN206378686U
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何忠亮;朱爭鳴;葉文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市柯士達(dá)光電有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于電子技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于曝光機(jī)的曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置。

背景技術(shù)

制造PCB、LCD、觸摸屏等產(chǎn)品使用的曝光設(shè)備中，曝光系統(tǒng)通常采用多重透鏡獲得UV平行光源，需要多重校準(zhǔn)，成本較高，維護(hù)復(fù)雜，且仍然會(huì)有部分大角度的光線產(chǎn)生，造成曝光解析度的降低。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)不足，本實(shí)用新型公開一種曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置，用于提高曝光解析度，其特征在于：在LED光源的光路方向上，有復(fù)數(shù)層開孔直徑略大于LED芯片之間的擋光板，可以過濾掉不需使用的大角度光線，且相鄰的開孔不會(huì)相互干擾光路。

每塊擋光板之間間隔一定的距離，且距離可調(diào)，每塊擋光板與出光方向垂直，擋光板上的開孔中心與發(fā)光芯片光路的中心重合。

擋光板開孔的孔壁，表面為具備良好的紫外光吸光能力的顏色，不會(huì)造成光反射而影響出光角度，優(yōu)選將孔壁涂成黑色。

擋光板的開孔有一定的間隔，確保孔與孔之間的光路不會(huì)相互交叉干擾。

該系統(tǒng)用于PCB、LCD、觸摸屏等領(lǐng)域曝光設(shè)備中，具有成本低廉，解析度高等優(yōu)勢(shì)。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

圖1是本實(shí)用新型雜散光過濾裝置（反射式光源）的示意圖。

圖2是本實(shí)用新型雜散光過濾裝置（透鏡式光源）的示意圖。

具體實(shí)施方式

一種雜散光過濾裝置，如圖1所示，在反射式UV LED光源的上方，有復(fù)數(shù)層開孔直徑略大于LED芯片之間的擋光板，每塊擋光板之間間隔一定的距離（距離可調(diào)），每塊擋光板與出光方向垂直，擋光板上的開孔中心位于LED芯片的中心線上，可以過濾掉不需使用的大角度光線。擋光板開孔的孔壁，具備良好的吸光能力，不會(huì)造成光反射而影響出光角度。

一種雜散光過濾裝置，如圖2所示，在透鏡會(huì)聚式UV LED光源的上方，有復(fù)數(shù)層開孔直徑略大于LED芯片之間的擋光板，每塊擋光板之間間隔一定的距離（距離可調(diào)），每塊擋光板與出光方向垂直，擋光板上的開孔中心位于LED芯片的中心線上，可以過濾掉不需使用的大角度光線。擋光板開孔的孔壁涂成黑色，具備良好的吸光能力，不會(huì)造成光反射而影響出光角度。

雖然上述結(jié)合附圖描述了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，但本實(shí)用新型并不限于上面所示和所描述的實(shí)施例，而是可在所附的權(quán)利要求的范圍內(nèi)以各種方式實(shí)現(xiàn)。