[實用新型]一種曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201621178136.2 | 申請日： | 2016-11-03 |
| 公開（公告）號： | CN206378686U | 公開（公告）日： | 2017-08-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 何忠亮;朱爭鳴;葉文 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市柯士達光電有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518125 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 曝光 系統(tǒng) 散光 過濾 裝置 | ||
1.一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置，其特征在于：在LED光源的光路方向上，有復數(shù)層開孔直徑略大于LED芯片之間的擋光板，可以過濾掉不需使用的大角度光線，且相鄰的開孔不會相互干擾光路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置，其特征為每塊擋光板之間間隔一定的距離，每塊擋光板與出光方向垂直，擋光板上的開孔中心與發(fā)光芯片光路的中心重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置，其特征為擋光板開孔的孔壁，表面為具備良好的紫外光吸光能力的顏色，不會造成光反射而影響出光角度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置，其特征為擋光板的開孔有一定的間隔，確保孔與孔之間的光路不會相互交叉干擾。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置，其特征為所述擋光板之間間隔距離可調(diào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置，其特征為所述孔壁的表面為黑色。
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