[實用新型]掩膜板夾取裝置

有效

• 申請號: 201621125745.1
• 申請日: 2016-10-14
• 公開（公告）號: CN206126317U
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 林治明;王震
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司11138
• 代理人: 滕一斌

技術領域

本實用新型涉及顯示技術領域，特別涉及一種掩膜板夾取裝置。

背景技術

精細金屬掩膜板(英文：Fine Metal Mask；簡稱：FMM)是有機發光二極管(英文：Organic Light-Emitting Diode；簡稱：OLED)顯示裝置制造過程中，用于在基板上蒸鍍發光層的組件。在通過該FMM對基板進行蒸鍍前，需要先通過多個掩膜板夾取裝置分別夾取該FMM的兩端，然后對該FMM進行拉伸，使得FMM上的掩膜圖形與基板上待蒸鍍的圖形保持一致。

相關技術中，參考圖1，每個掩膜板夾取裝置可以包括相對設置的第一夾取部A和第二夾取部B。在使用該多個掩膜板夾取裝置夾取FMM時，可以先將該FMM放置在各個夾取裝置的第一夾取部A的端面上，然后使該多個掩膜板夾取裝置的第二夾取部B同時靠近并壓緊在該FMM遠離第一夾取部A的一面，使得該FMM固定在該兩個夾取部之間，以便對該FMM進行拉伸。

但是，在使用相關技術中的掩膜板夾取裝置對FMM進行夾取的過程中，對該多個掩膜板夾取裝置的第二夾取部的同步性要求較高，若某個掩膜板夾取裝置的第二夾取部提前壓緊在FMM上，則可能會使該FMM發生移動，進而使得夾取過程中FMM產生額外褶皺，影響后續的拉伸效果。

實用新型內容

為了解決相關技術中的掩膜板夾取裝置在夾取掩膜板時可能使得掩膜板發生移動而產生額外褶皺的問題，本實用新型提供了一種掩膜板夾取裝置。

所述掩膜板夾取裝置包括：第一夾取部、第二夾取部以及吸附部；

所述第一夾取部和所述第二夾取部相對設置，用于將掩膜板固定在所述第一夾取部和所述第二夾取部之間；

在所述掩膜板放置在所述第一夾取部上時，所述吸附部能夠與所述掩膜板靠近所述第一夾取部的一面接觸，并吸附所述掩膜板。

可選的，所述吸附部設置在所述第一夾取部的一側，且所述吸附部的吸附面與所述第一夾取部的端面位于同一平面。

可選的，所述吸附部設置在所述第一夾取部靠近所述掩膜板的一側。

可選的，所述吸附部設置在所述第一夾取部的端面。

可選的，所述吸附部包括吸附面板和抽真空組件；

所述吸附面板上設置有多個貫穿所述吸附面板的通孔；

所述抽真空組件通過氣管與所述多個通孔連通，當所述吸附面板與所述掩膜板接觸時，所述抽真空組件能夠通過所述多個通孔，對所述吸附面板與所述掩膜板之間的空間進行抽真空。

可選的，所述多個通孔的進氣口陣列排布在所述吸附面板的吸附面上。

可選的，所述多個通孔中至少兩個通孔共用一個出氣口，所述出氣口為與所述氣管連接的開口。

可選的，所述吸附面板的吸附面上設置有硅膠層。

可選的，所述吸附部包括支撐組件、抽真空組件和多個真空吸嘴；

所述多個真空吸嘴插裝在所述支撐組件上，且每個所述真空吸嘴與所述抽真空組件連通。

可選的，所述吸附部為電磁鐵。

本實用新型提供的技術方案帶來的有益效果是：

本實用新型實施例提供了一種掩膜板夾取裝置，該掩膜板夾取裝置中除了第一夾取部和第二夾取部，還包括吸附部，在掩膜板放置在第一夾取部上時，該吸附部能夠吸附掩膜板，從而可以提高掩膜板放置在第一夾取部上時的穩定性，避免第二夾取部壓緊掩膜板時使該掩膜板發生移動，進而可以避免掩膜板在夾取過程中產生的額外褶皺，保證了掩膜板的拉伸效果，進而保證了顯示裝置的蒸鍍效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是相關技術中一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例提供的一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例提供的另一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖4是本實用新型實施例提供的又一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖5是本實用新型實施例提供的再一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖6是本實用新型實施例提供的一種吸附面板的俯視圖；

圖7是圖6所示的吸附面板在AA方向的截面圖；

圖8是本實用新型實施例提供的再一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；