[實用新型]掩膜板夾取裝置

有效

• 申請號: 201621125745.1
• 申請日: 2016-10-14
• 公開（公告）號: CN206126317U
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 林治明;王震
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司11138
• 代理人: 滕一斌

1.一種掩膜板夾取裝置，其特征在于，所述裝置包括：

第一夾取部、第二夾取部以及吸附部；

所述第一夾取部和所述第二夾取部相對設置，用于將掩膜板固定在所述第一夾取部和所述第二夾取部之間；

在所述掩膜板放置在所述第一夾取部上時，所述吸附部能夠與所述掩膜板靠近所述第一夾取部的一面接觸，并吸附所述掩膜板。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，

所述吸附部設置在所述第一夾取部的一側，且所述吸附部的吸附面與所述第一夾取部的端面位于同一平面。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，

所述吸附部設置在所述第一夾取部靠近所述掩膜板的一側。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，

所述吸附部設置在所述第一夾取部的端面。

5.根據權利要求1至4任一所述的裝置，其特征在于，所述吸附部包括吸附面板和抽真空組件；

所述吸附面板上設置有多個貫穿所述吸附面板的通孔；

所述抽真空組件通過氣管與所述多個通孔連通，當所述吸附面板與所述掩膜板接觸時，所述抽真空組件能夠通過所述多個通孔，對所述吸附面板與所述掩膜板之間的空間進行抽真空。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，

所述多個通孔的進氣口陣列排布在所述吸附面板的吸附面上。

7.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，

所述多個通孔中至少兩個通孔共用一個出氣口，所述出氣口為與所述氣管連接的開口。

8.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，

所述吸附面板的吸附面上設置有硅膠層。

9.根據權利要求1至4任一所述的裝置，其特征在于，所述吸附部包括支撐組件、抽真空組件和多個真空吸嘴；

所述多個真空吸嘴插裝在所述支撐組件上，且每個所述真空吸嘴與所述抽真空組件連通。

10.根據權利要求1至4任一所述的裝置，其特征在于，

所述吸附部為電磁鐵。