[實用新型]用于測試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置

有效

• 申請號: 201621124806.2
• 申請日: 2016-10-14
• 公開（公告）號: CN206134651U
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 郭威;王斌;何悅;胡克喜;任勇;李志剛;王在發
• 申請（專利權）人: 尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司31002
• 代理人: 王潔,鄭暄

技術領域

本實用新型涉及太陽能制造技術領域，尤其涉及太陽能硅片，具體是指一種用于測試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置。

背景技術

目前，在太陽能電池生產過程中，在對硅片進行濕法刻蝕后需要在硅片表面進行氧化以形成一層氧化膜二氧化硅，二氧化硅表面含有羥基，羥基可以與水分子短暫的結合，因此被氧化后的硅片表面由疏水變成親水性，因此為了檢測硅片表面是否已經被氧化，通常需要對硅片表面進行親水性測試，而常用的方法就是將水滴于硅片表面，觀察硅片表面是否浸潤，以判斷硅片的親水性效果，從而用親水性測試的結果確定硅片的氧化效果。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服了上述現有技術的缺點，提供了一種傾斜角度固定、精準移取去離子水、測試穩定、結果準確的用于測試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置。

為了實現上述目的，本實用新型的用于測試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置具有如下構成：

所述的組合裝置包括：載片裝置，所述的載片裝置包括支撐硅片的支撐面及穩固硅片的抵擋條，所述的支撐面的底邊與所述的抵擋條相平行，使硅片以30度的角度斜靠于所述的支撐面的頂邊與所述的抵擋條之間，取水裝置，所述的取水裝置為20μL的移液槍。

較佳地，所述的組合裝置還包括用以記錄測試過程的攝像設備。

較佳地，所述的載片裝置還包括連接支撐面的底邊與抵擋條的連接面，所述的抵擋條設置于所述的連接面上。

較佳地，所述的載片裝置具有可放置若干個硅片同時進行測試的長度。

較佳地，斜靠于所述的載片裝置上的硅片的上邊沿滴有用所述的20μL的移液槍形成的水滴。

采用了該實用新型中的用于測試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置，根據去離子水遇硅有明顯的脫水性、去離子水遇二氧化硅有明顯的親水性的差異，利用去離子水滴落在硅片上的表現形式不一致來區分二氧化硅是否覆蓋良好，載片裝置使硅片以30度的角度傾斜，方便于測試人員測試，移液槍取出分量固定為20μL，取水過多則即使在覆蓋不良的狀態下，等離子水也能往下流動，取水過少則無法流到硅片底部，從而影響對結果的判斷。

附圖說明

圖1為本實用新型的用于測試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置的載片裝置的右視圖。

圖2為本實用新型的用于測試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置的載片裝置的俯視圖。

附圖標記

1支撐面

2連接面

3抵擋條

具體實施方式

為了能夠更清楚地描述本實用新型的技術內容，下面結合具體實施例來進行進一步的描述。

針對上述問題，本實用新型旨在提供一種能夠實現。為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：

本實用新型的組合裝置包括：載片裝置，所述的載片裝置包括支撐硅片的支撐面及穩固硅片的抵擋條，所述的支撐面1的底邊與所述的抵擋條3相平行，使硅片以30度的角度斜靠于所述的支撐面的頂邊與所述的抵擋條之間，取水裝置，所述的取水裝置為20μL的移液槍。

其中所述的組合裝置還包括用以記錄測試過程的攝像設備；所述的載片裝置還包括連接支撐面的底邊與抵擋條的連接面2，所述的抵擋條設置于所述的連接面上；所述的載片裝置具有可放置若干個硅片同時進行測試的長度；斜靠于所述的載片裝置上的硅片的上邊沿滴有用所述的20μL的移液槍形成的水滴。

本實用新型中的組合裝置用于檢測過臭氧機后的硅片是否氧化層覆蓋良好，氧化層的覆蓋情況對PID效果影響較大。根據去離子水遇硅有明顯的脫水性，和去離子水遇二氧化硅有明顯的親水性的差異，利用去離子水滴落在硅片上的表現形式不一致來區分二氧化硅是否覆蓋良好。

本實用新型提供的組合裝置中的一種實施方式中，移液槍取出分量固定為20μL，取水過多則即使在覆蓋不良的狀態下，等離子水也能往下流動，取水過少則無法流到硅片底部，從而影響對結果的判斷。取水裝置采用按壓式真空方式進行取液，精度可達到±0.4uL，頂部旋鈕可進行校準。在使用時準備去離子水，用移液槍將去離子水滴在硅片的上邊沿，移液槍取液的分量是20μL。水滴滴落的位置分別均勻的分布在硅片上邊沿的五點，去離子水在短時間內均勻的流到硅片底部視為合格，水滴無法均勻的流下去視為不合格。

本實用新型提供的載片裝置的一種實施方式中，結構簡單，容易放置硅片，讓硅片以30度的角度斜靠，擴散面朝上，方便于測試人員測試，所述的載片裝置可放置若干個硅片同時進行測試，如圖2所示的組合裝置的俯視圖。