[實用新型]掩模版傳輸系統

有效

• 申請號: 201621100546.5
• 申請日: 2016-09-30
• 公開（公告）號: CN206209287U
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 馬方波;吳福龍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

技術領域

本實用新型涉及一種傳輸系統，尤其涉及一種掩模版傳輸系統。

背景技術

掩模版傳輸系統是光刻設備的重要組成部分，其對掩模版的安全傳輸起著至關重要的作用。在平板顯示設備的制備工藝中，掩模版的尺寸與重量都不斷增大，因此對掩模版傳輸系統的傳輸安全性和可靠性的要求也在不斷提高。

現有的六代掩模版的傳輸系統中，掩模版從版庫到掩模臺的輸送主要由取放版機械手與交換版機械手共同參與，即，取放版機械手從版庫內取出掩模版至交接位，再由交換版機械手取掩模版至掩模臺，因此工作的行程較大，影響傳輸效率。此外，由于受到空間布局的限制，取放版機械手與交換版機械手均采用懸臂梁的結構，輸送大尺寸掩模版的過程中機械手會產生較大的彈性變形。這些因素對大尺寸掩模版的安全、精密傳輸都會產生不利影響。

為解決上述問題，本實用新型提出了一種掩模版傳輸系統，尤其是一種傳輸大尺寸掩模版的掩模版傳輸系統，不僅可以提高傳輸效率，也可以大幅度減小掩膜版傳輸機構的變形，從而實現大尺寸掩模版的安全、可靠、精密傳輸。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種掩模版傳輸系統，能夠安全、可靠、精密地傳輸掩模版，尤其是大尺寸掩模版。

為達到上述目的，本實用新型提出了一種掩模版傳輸系統，尤其是一種傳輸大尺寸掩模版的掩模版傳輸系統，包括：版庫；緩存臺；機械手運動模組；掩模臺。版庫用于儲存掩模版，并管理掩模版信息。緩存臺具有將掩模版輸送至與機械手交接工位的作用。機械手運動模組用于搭載機械手版叉。機械手版叉用于傳輸掩模版。掩模臺具有攜帶未曝光掩模版至曝光工位及攜帶已曝光掩模版至與機械手版叉交接工位的作用。

優選地，機械手運動模組橫跨于緩存臺與掩模版之間。

優選地，機械手運動模組下表面設有一滑軌。

優選地，所述機械手版叉包括機械手版叉第一部和與其連接的機械手版叉第二部。機械手版叉第一部對稱地懸掛于滑軌上，機械手版叉第二部沿與滑軌延伸方向垂直的第二方向運動。

優選地，機械手版叉第二部下表面設有多個吊鉤組件與多個吸附結構，多個吊鉤組件用于固定掩模版，以減少其彈性形變，多個吸附結構用于吸附掩模版，以增加傳輸安全性。

優選地，機械手版叉第二部下表面為多邊形或圓形。

優選地，吊鉤組件設于機械手版叉第二部下表面的周邊。

優選地，吸附結構設于機械手版叉第二部下表面，呈圓形或正方形均勻分布。

優選地，多個吸附結構均為柱體真空吸附結構或錐體真空吸附結構。

優選地，機械手版叉第二部的下表面設有粗對準裝置，用于在多個吊鉤組件獲取掩模版時進行預對準操作。

優選地，所述版庫具有版庫版叉，所述版庫版叉具有驅使其沿滑軌延伸的方向運動的第一驅動單元，將未曝光的掩模版推送至緩存臺或將已曝光的掩模版載運回版庫。

優選地，所述緩存臺位于版庫與掩模臺之間，其具有驅使其沿與滑軌延伸的方向垂直的第二方向運動的第二驅動單元。

優選地，所述掩模臺具有驅使其沿第二方向運動的第三驅動單元，同時具有攜帶掩模版運動至曝光位的第四驅動單元。

綜上所述，本實用新型提出的掩模版傳輸系統中，機械手運動模組橫跨于緩存臺與掩模臺之間，且其下表面設有一滑軌。機械手版叉對稱地懸掛在滑軌上，其運動軌跡為直線，傳輸路徑簡單，增加了系統傳輸效率，且降低了系統傳輸風險；進一步，機械手版叉對稱地懸掛在滑軌上，避免使用傳統傳輸大尺寸掩模版過程中的懸臂梁或其他非對稱結構，可以有效避免因掩模版受力不均勻而導致的傾斜變形和彈性變形，從而增加了掩模版傳輸系統的安全性。

附圖說明

圖1是本實用新型一較佳實施例的掩模版傳輸系統的結構示意圖；

圖2是圖1所述掩模版傳輸系統的結構俯視圖；

圖3是圖1中機械手版叉結構示意圖；

圖4是本實用新型實施例中掩模版傳輸系統中掩模版上版操作流程圖；

圖5是本實用新型實施例中掩模版傳輸系統中掩模版下版操作流程圖；

圖中：

100-機械手運動模組；110-機械手版叉第一部；120-機械手版叉第二部；121-吸附結構；122-吊鉤組件；200-版庫；210-版庫版叉；300-緩存臺；400-掩模臺；500-待傳輸掩模版；610-第一交接工位；620-第二交接工位。

具體實施方式

以下將結合附圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細的描述，以充分了解本實用新型的目的、特征和效果。