[實用新型]掩模版傳輸系統有效
| 申請號： | 201621100546.5 | 申請日： | 2016-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN206209287U | 公開（公告）日： | 2017-05-31 |
| 發明（設計）人： | 馬方波;吳福龍 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 模版 傳輸 系統 | ||
1.一種掩模版傳輸系統，其特征在于，包括：版庫，緩存臺，機械手運動模組以及掩模臺，其中，所述緩存臺位于所述版庫與掩模臺之間，所述機械手運動模組橫跨于所述緩存臺與掩模臺之間，所述機械手運動模組的下表面設有一滑軌，一機械手版叉對稱地懸掛于所述滑軌上，并沿所述滑軌在所述緩存臺與掩模臺之間滑動。
2.如權利要求1所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述機械手版叉包括機械手版叉第一部和與所述機械手版叉第一部連接的機械手版叉第二部，所述機械手版叉第一部懸掛于所述滑軌上，所述機械手版叉第二部沿與所述滑軌延伸的方向垂直的第二方向運動。
3.如權利要求2所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述機械手版叉第二部的下表面的周邊均勻設置有多個用于固定掩膜版的吊鉤組件。
4.如權利要求3所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述多個吊鉤組件均為單鉤組件。
5.如權利要求3所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述多個吊鉤組件均為雙鉤組件。
6.如權利要求3所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述機械手版叉第二部的下表面設有所述多個吊鉤組件獲取掩模版時進行預對準操作的粗對準裝置。
7.如權利要求3所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述機械手版叉第二部的下表面呈多邊形。
8.如權利要求3所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述機械手版叉第二部的下表面呈圓形。
9.如權利要求2所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，多個吸附結構均勻分布于所述機械手版叉第二部的下表面上。
10.如權利要求9所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述多個吸附結構呈圓形均勻分布。
11.如權利要求9所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述多個吸附結 構呈多邊形均勻分布。
12.如權利要求9所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述多個吸附結構均為真空吸附結構。
13.如權利要求9所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述多個吸附結構均為柱體吸附結構。
14.如權利要求9所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述多個吸附結構均為錐體吸附結構。
15.如權利要求2所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述緩存臺具有驅使所述緩存臺沿所述第二方向運動的第二驅動單元。
16.如權利要求2所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述掩模臺具有驅使所述掩模臺沿所述第二方向運動的第三驅動單元以及驅使所述掩模臺向掩模版曝光位運動的第四驅動單元。
17.如權利要求1所述的掩模版傳輸系統，其特征在于，所述版庫設有用于載運掩模版至所述緩存臺的版庫版叉。
18.如權利要求17所述掩模版傳輸系統，其特征在于，所述版庫版叉具有驅使所述版庫版叉沿所述滑軌延伸的方向運動的第一驅動單元。
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