[實用新型]一種半導體儀器凈化裝置

有效

• 申請號: 201620989882.3
• 申請日: 2016-08-30
• 公開（公告）號: CN206334490U
• 公開（公告）日: 2017-07-18
• 發明（設計）人: 陳魯;張朝前;劉虹遙;楊樂;馬硯忠;路鑫超
• 申請（專利權）人: 中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所11302
• 代理人: 房德權

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，特別涉及一種半導體儀器凈化裝置。

背景技術

空氣凈化系統設計是半導體儀器的一個重要環節。由于半導體芯片的特征尺寸非常小，即使非常小的顆粒污染都可能導致其功能失效，使昂貴費時的制造過程白費?？諝庵衅〉念w粒落至芯片上是導致芯片污染的主要原因之一，因此芯片生產、檢測過程對環境要求較高，尤其是芯片會長期接觸的儀器內部。針對此現狀，對芯片生產及中間檢測儀器均設有空氣凈化系統，保證儀器內部，尤其是芯片放置位置附近空氣的潔凈程度。常見的半導體儀器中空氣凈化系統是通過抽氣或進氣設計實現儀器內部空氣單向循環系統，并對進入到儀器中空氣多重過濾去除其中顆粒實現，該方法能較好的保證儀器外進來空氣的潔凈度，但當儀器內有進行機械運動部件時，機械運動中物體摩擦產生的顆粒會漂浮在儀器，造成半導體芯片污染。

實用新型內容

本實用新型通過提供一種半導體儀器凈化裝置，解決了現有技術中半導體儀器內部因機械運動體摩擦而產生的顆粒容易污染晶圓的技術問題，在半導體儀器內部建立了空氣單向循環系統，使機械運動元件摩擦產生的顆粒會快速被排出，且不會擴散至半導體芯片附近，防止污染半導體芯片。

本實用新型提供了一種半導體儀器空氣凈化裝置，所述裝置包括：進氣單元、密封箱及排氣單元；

所述進氣單元與所述密封箱相連，所述進氣單元向所述密封箱輸入氣體；

半導體儀器的運動系統設置在所述密封箱內，晶圓運動系統與半導體儀器的采集系統連接；

所述密封箱與所述排氣單元相連，所述密封箱的灰塵伴隨所述氣體經所述排氣單元排出。

進一步地，所述進氣單元包括：風機、進氣罩及至少一根進氣管；

所述風機設置在所述進氣罩上方；

所述進氣罩通過所述進氣管與所述密封箱連接；

當所述進氣管至少為兩根時，所述進氣管對稱分布。

進一步地，所述進氣管為四根。

進一步地，所述進氣單元還包括：勻氣罩及勻氣板；

所述勻氣罩固定在所述密封箱上；

所述勻氣板設置在所述勻氣罩內；

所述進氣管與所述勻氣罩連接，所述進氣管中的氣體經所述勻氣板進入所述密封箱。

進一步地，所述排氣單元包括：出風件及至少一個排氣管；

所述密封箱上開設有出風口；

所述排氣管通過所述出風件與所述出風口連接。

進一步地，所述排氣單元還包括：抽氣泵；

所述抽氣泵與所述排氣管連接。

進一步地，所述排氣單元至少為一個。

進一步地，所述排氣單元為兩個。

進一步地，所述進氣管為塑料管或金屬管。

進一步地，所述排氣管為塑料管或金屬管。

本實用新型提供的一種或多種技術方案，至少具備以下有益效果或優點：

本實用新型提供的半導體儀器凈化裝置，進氣單元向密封箱輸入氣體，半導體儀器的運動系統設置在所述密封箱內，密封箱的灰塵伴隨氣體經排氣單元排出；在密封箱內部建立了空氣單向循環系統，保證機械運動元件摩擦產生的顆粒會快速被排出，且不會擴散至半導體芯片附近，防止污染半導體芯片。

進一步，本實用新型提供的半導體儀器凈化裝置，當進氣管至少為兩根時，進氣管對稱分布，使得進氣管內的氣體均勻進入密封箱內部，保證了對密封箱內部的凈化效果。

進一步，本實用新型提供的半導體儀器凈化裝置，進氣單元設置有勻氣罩及勻氣板，進一步提高了進入密封箱內部氣體的均勻性，保證了對密封箱內部的凈化效果。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例提供的半導體儀器凈化裝置的裝配主視圖；

圖2為圖1的后視圖；圖3為圖1及圖2所示半導體儀器凈化裝置的進氣管連接關系圖；

圖4為圖1及圖2所示半導體儀器凈化裝置的封箱內部器件安裝示意圖；

圖5為圖1及圖2所示半導體儀器凈化裝置的排氣單元結構示意圖；

圖6為圖1及圖2所示半導體儀器凈化裝置的又一排氣單元結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型實施例通過提供一種半導體儀器凈化裝置，解決了現有技術中半導體儀器內部因機械運動體摩擦而產生的顆粒容易污染晶圓的技術問題，在半導體儀器內部建立了空氣單向循環系統，保證機械運動元件產生的顆粒會快速被排出半導體儀器，且不會擴散至半導體芯片附近。