[實用新型]一種半導體儀器凈化裝置有效
| 申請號： | 201620989882.3 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN206334490U | 公開（公告）日： | 2017-07-18 |
| 發明（設計）人： | 陳魯;張朝前;劉虹遙;楊樂;馬硯忠;路鑫超 | 申請（專利權）人： | 中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心 |
| 主分類號： | B01D53/00 | 分類號： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 北京華沛德權律師事務所11302 | 代理人： | 房德權 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉興市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 儀器 凈化 裝置 | ||
1.一種半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述裝置包括：進氣單元、密封箱及排氣單元；
所述進氣單元與所述密封箱相連，所述進氣單元向所述密封箱輸入氣體；
半導體儀器的運動系統設置在所述密封箱內，半導體儀器的運動系統與半導體儀器的采集系統連接；
所述密封箱與所述排氣單元相連，所述密封箱的灰塵伴隨所述氣體經所述排氣單元排出。
2.如權利要求1所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述進氣單元包括：風機、進氣罩及至少一根進氣管；
所述風機設置在所述進氣罩上方；
所述進氣罩通過所述進氣管與所述密封箱連接；
當所述進氣管至少為兩根時，所述進氣管對稱分布。
3.如權利要求2所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述進氣管為四根。
4.如權利要求2所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述進氣單元還包括：勻氣罩及勻氣板；
所述勻氣罩固定在所述密封箱上；
所述勻氣板設置在所述勻氣罩內；
所述進氣管與所述勻氣罩連接，所述進氣管中的氣體經所述勻氣板進入所述密封箱。
5.如權利要求1-4任一項所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述排氣單元包括：出風件及至少一個排氣管；
所述密封箱上開設有出風口；
所述排氣管通過所述出風件與所述出風口連接。
6.如權利要求5所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述排氣單元還包括：抽氣泵；
所述抽氣泵與所述排氣管連接。
7.如權利要求6所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述排氣單元至少為一個。
8.如權利要求7所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述排氣單元為兩個。
9.如權利要求2-4任一項所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述進氣管為塑料管或金屬管。
10.如權利要求5所述的半導體儀器凈化裝置，其特征在于，所述排氣管為塑料管或金屬管。
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