[實用新型]真空恒壓系統

有效

• 申請號: 201620929686.7
• 申請日: 2016-08-24
• 公開（公告）號: CN206609299U
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發明（設計）人: 黃獻禮
• 申請（專利權）人: 鄭州邦達電氣有限公司
• 主分類號: F27D7/06
• 分類號: F27D7/06
• 代理公司: 鄭州德勤知識產權代理有限公司41128
• 代理人: 黃軍委

技術領域

本實用新型涉及了一種真空恒壓系統。

背景技術

管式高溫爐常用于各大專院校的實驗室。管式高溫爐內的真空恒壓系統在實驗的過程中，需要保證爐內的真空度恒定。保持真空度恒定，目前普遍采用的方法是根據爐內情況通過調節閥進行手動控制，這種方法不能實現動態實時監控，而且爐內真空度變化幅度大，實驗操作者缺乏控制經驗，增加了控制的難度。

為了解決以上存在的問題，人們一直在尋求一種理想的技術解決方案。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術的不足，從而提供一種結構簡單、設計科學、實用性強、操作簡單的真空恒壓系統。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：一種真空恒壓系統，該真空恒壓系統包括真空泵、外部氣源、真空規、比例調節閥、真空腔體和控制中心；

所述外部氣源通過質量流量控制器與所述真空腔體的一端連通，所述真空腔體的另一端依次通過所述真空規和所述比例調節閥與所述真空泵連通，構成閉環控制恒壓系統；

所述真空規用于實時檢測所述真空腔體內的壓力，所述控制中心根據所述真空規檢測的所述真空腔體內的壓力，控制所述比例調節閥和所述質量流量控制器的開啟或關閉。

基于上述，所述真空腔體為石英玻璃管，所述真空腔體的兩端設置有密封法蘭。

基于上述，所述控制中心連接有彩屏顯示器和輸入鍵盤。

基于上述，所述比例調節閥和所述真空泵之間設置有一手動擋板閥。

本實用新型相對現有技術具有實質性特點和進步，具體的說，本實用新型根據真空規實時檢測真空腔體內的壓力，控制中心控實時控制比例調節閥和質量流量控制器，實現了真空腔體內真空恒定的實時調整。本實用新型可以應用于等離子體化學氣相沉積設備、管式爐和真空氣氛爐的真空恒壓。

附圖說明

圖1是本實用新型的原理圖。

具體實施方式

下面通過具體實施方式，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

如圖1所示，一種真空恒壓系統，該真空恒壓系統包括真空泵、外部氣源、真空規、比例調節閥、真空腔體和控制中心；所述外部氣源通過質量流量控制器與所述真空腔體的一端連通，所述真空腔體的另一端依次通過所述真空規和所述比例調節閥與所述真空泵連通，構成閉環控制恒壓系統；所述真空規用于實時檢測所述真空腔體內的壓力，所述控制中心根據所述真空規檢測的所述真空腔體內的壓力，控制所述比例調節閥和所述質量流量控制器的開啟或關閉。

本實用新型的真空穩定實現包括比例控制法和進氣大小控制法：

比例控制法

a、開啟外部氣源，所述控制中心控制所述質量流量控制器的氣體流量恒定；開啟比例調節閥，啟動真空泵；

b、真空規實時檢測真空腔體內的壓力；

c、通過所述控制中心實時調整所述比例調節閥的開啟度，待實時真空與預設真空相等，即可實現真空的穩定。

進氣大小控制法

a、所述控制中心控制所述比例調節閥的開啟度大小一定，啟動真空泵；

b、真空規實時檢測真空腔體內的壓力；

c、通過所述控制中心實時調整所述質量流量控制器的進氣量，待實時真空與預設真空相等，即可實現真空的穩定。

具體的，所述真空腔體采用石英玻璃管，所述真空腔體的兩端設置有密封法蘭，方便安裝使用。所述控制中心連接有彩屏顯示器和輸入鍵盤，可以實時顯示真空腔體內的壓力大小、比例調節閥的開啟度大小以及質量流量控制器的進氣量大小，使得整個調整過程更加直觀清晰。所述比例調節閥和所述真空泵之間設置有一手動擋板閥，用于真空恒定的手動粗調整。

最后應當說明的是:以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案而非對其限制；盡管參照較佳實施例對本實用新型進行了詳細的說明，所屬領域的普通技術人員應當理解：依然可以對本實用新型的具體實施方式進行修改或者對部分技術特征進行等同替換；而不脫離本實用新型技術方案的精神，其均應涵蓋在本實用新型請求保護的技術方案范圍當中。