[實用新型]真空恒壓系統有效
| 申請號： | 201620929686.7 | 申請日： | 2016-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN206609299U | 公開（公告）日： | 2017-11-03 |
| 發明（設計）人： | 黃獻禮 | 申請（專利權）人： | 鄭州邦達電氣有限公司 |
| 主分類號： | F27D7/06 | 分類號： | F27D7/06 |
| 代理公司： | 鄭州德勤知識產權代理有限公司41128 | 代理人： | 黃軍委 |
| 地址： | 450001 河南省鄭州市*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種真空恒壓系統，其特征在于：該真空恒壓系統包括真空泵、外部氣源、真空規、比例調節閥、真空腔體和控制中心；
所述外部氣源通過質量流量控制器與所述真空腔體的一端連通，所述真空腔體的另一端依次通過所述真空規和所述比例調節閥與所述真空泵連通，構成閉環控制恒壓系統；
所述真空規用于實時檢測所述真空腔體內的壓力，所述控制中心根據所述真空規檢測的所述真空腔體內的壓力，控制所述比例調節閥和所述質量流量控制器的開啟或關閉。
2.根據權利要求1所述的真空恒壓系統，其特征在于：所述真空腔體為石英玻璃管，所述真空腔體的兩端設置有密封法蘭。
3.根據權利要求2所述的真空恒壓系統，其特征在于：所述控制中心連接有彩屏顯示器和輸入鍵盤。
4.根據權利要求3所述的真空恒壓系統，其特征在于：所述比例調節閥和所述真空泵之間設置有一手動擋板閥。
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