[實用新型]一種用于擴散爐/PECVD設備的機械手手爪結構

有效

• 申請號: 201620913508.5
• 申請日: 2016-08-22
• 公開（公告）號: CN206201005U
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 李致文;張勇
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: B25J15/08
• 分類號: B25J15/08;H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司44247
• 代理人: 胡朝陽,尹彥

技術領域

本實用新型涉及擴散爐/PECVD設備技術領域，更具體地說是涉及一種用于擴散爐/PECVD設備的機械手手爪結構。

背景技術

隨著光伏行業的迅速發展，行業內對高溫擴散爐/PECVD設備安全生產的要求越來越高，這兩種設備的機械手的抓取對象分別為石英舟和石墨舟，在設備調試和運行過程中會出現機械手位置錯誤或異常，使機械手的手爪產生撞擊，而石英舟或石墨舟在撞擊之下，容易出現報廢，從而使生產中斷，整舟的硅片也會因此而報廢，嚴重影響設備的正常運行。

實用新型內容

為解決上述現有技術中存在的問題，本實用新型提供一種用于擴散爐/PECVD設備的機械手手爪結構，在機械手手爪在產生撞擊時，使得機械手停止運動，從而保證了石英舟或石墨舟的安全。

本實用新型的技術方案為：一種用于擴散爐/PECVD設備的機械手手爪結構，包括爪體，所述爪體的一側設有手爪，所述爪體的另一側設有第一安裝座、鉸鏈座和第二安裝座，所述第二安裝座固定在所述爪體的一側面上，所述鉸鏈座的一端可轉動與所述第二安裝座連接，所述鉸鏈座的另一端伸出所述爪體并與所述第一安裝座固定連接，所述第一安裝座與所述第二安裝座之間設有間距，且所述第一安裝座的兩個端部與所述第二安裝座的兩個端部之間設有彈性件，還包括撥桿和行程開關，所述撥桿的一端為與所述鉸鏈座固定連接的固定端，另一端為自由端且伸入所述第二安裝座與所述手爪之間，所述行程開關固定于所述撥桿自由端部兩側的爪體上。

所述鉸鏈座的一端通過鉸鏈銷與所述第二安裝座連接。

所述彈性件為彈簧。

所述第二安裝座的兩個端部設有安裝孔，所述彈簧置于該安裝孔內且彈簧的上端部伸入第一安裝座與第二安裝座的間距內，所述彈簧的上端與第一安裝座抵接。

所述第一安裝座的中間部分向內凹陷形成第一凹槽；所述鉸鏈座包括頂板和設于所述頂板同側的間隔開的兩個側板，該兩個側板上設有同軸的軸孔與鉸鏈銷相配合；所述第二安裝座中間部分相對的兩側面分別向內凹陷形成兩個第二凹槽，且所述第二安裝座中間設有軸孔與鉸鏈銷相配合；

其中，所述鉸鏈座上的頂板置于所述第一凹槽內并與所述第一安裝座之間通過螺釘連接，所述鉸鏈座上的兩個側板分別與所述第二安裝座上的兩個第二凹槽相適配，銷軸依次穿過鉸鏈座上的其中一個側板、第二安裝座和鉸鏈座上的另一個側板并伸入爪體，所述撥桿的固定端與靠近爪體的側板通過螺釘連接。

所述撥桿的自由端部上安裝有頂塊，所述行程開關上與所述頂塊的側面相對的面上安裝有觸頭。

所述撥桿呈T字型，該T字型撥桿的橫向端與所述側板的端面通過螺釘連接，縱向端通過螺釘安裝所述頂塊。

本實用新型的用于擴散爐/PECVD設備的機械手手爪結構在機械手手爪在產生撞擊時，爪體上的行程開關與撥桿接觸使行程開關閉合，使得機械手停止運動，從而保證了石英舟或石墨舟的安全，使得設備能正常運行。

附圖說明

圖1為本實用新型機械手手爪結構圖；

圖2為本實用新型機械手手爪結構部分分解示意圖；

圖3為圖1中A-A向的剖視圖。

具體實施方式

如圖1，本實用新型提出的用于擴散爐/PECVD設備的機械手手爪結構，包括爪體10，爪體10的一側設有手爪20，手爪20通過螺釘固定在爪體10上。爪體10的另一側設有第一安裝座30、鉸鏈座40和第二安裝座50，第一安裝座30與機械手的手臂連接。第二安裝座50固定在爪體10的一側面上，鉸鏈座40的一端可轉動與第二安裝座50連接，本實施例中鉸鏈座40的一端通過鉸鏈銷80與第二安裝座50連接。鉸鏈座40的另一端伸出爪體10并與第一安裝座30固定連接。第一安裝座30與第二安裝座50之間設有間距，且第一安裝座30的兩個端部與第二安裝座50的兩個端部之間設有彈性件90。第二安裝座50用于安裝彈性件90，本實施例中優選彈性件90為彈簧，第二安裝座50的兩個端部設有安裝孔，彈簧置于該安裝孔內且彈簧的上端部伸入第一安裝座30與第二安裝座50的間距內，該彈簧的上端與第一安裝座30抵接。