[實用新型]一種用于擴散爐/PECVD設備的機械手手爪結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201620913508.5
• 申請日: 2016-08-22
• 公開（公告）號: CN206201005U
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設計）人: 李致文;張勇
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: B25J15/08
• 分類號: B25J15/08;H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 深圳市康弘知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司44247
• 代理人: 胡朝陽,尹彥

1.一種用于擴散爐/PECVD設備的機械手手爪結(jié)構(gòu)，包括爪體（10），所述爪體的一側(cè)設有手爪(20)，所述爪體的另一側(cè)設有第一安裝座(30)、鉸鏈座(40)和第二安裝座(50)，所述第二安裝座固定在所述爪體的一側(cè)面上，所述鉸鏈座的一端可轉(zhuǎn)動與所述第二安裝座連接，所述鉸鏈座的另一端伸出所述爪體并與所述第一安裝座固定連接，所述第一安裝座與所述第二安裝座之間設有間距，且所述第一安裝座的兩個端部與所述第二安裝座的兩個端部之間設有彈性件(90)，其特征在于：還包括撥桿(60)和行程開關(guān)(70)，所述撥桿的一端為與所述鉸鏈座固定連接的固定端，另一端為自由端且伸入所述第二安裝座與所述手爪之間，所述行程開關(guān)固定于所述撥桿自由端部兩側(cè)的爪體上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機械手手爪結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述鉸鏈座(40)的一端通過鉸鏈銷(80)與所述第二安裝座(50)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機械手手爪結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述彈性件(90)為彈簧。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機械手手爪結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第二安裝座(50)的兩個端部設有安裝孔，所述彈簧置于該安裝孔內(nèi)且彈簧的上端部伸入第一安裝座與第二安裝座的間距內(nèi)，所述彈簧的上端與第一安裝座(30)抵接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機械手手爪結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一安裝座(30)的中間部分向內(nèi)凹陷形成第一凹槽(31)；所述鉸鏈座(40)包括頂板(41)和設于所述頂板同側(cè)的間隔開的兩個側(cè)板(42)，該兩個側(cè)板上設有同軸的軸孔與鉸鏈銷(80)相配合；所述第二安裝座(50)中間部分相對的兩側(cè)面分別向內(nèi)凹陷形成兩個第二凹槽(51)，且所述第二安裝座中間設有軸孔與鉸鏈銷相配合；

其中，所述鉸鏈座上的頂板置于所述第一凹槽內(nèi)并與所述第一安裝座之間通過螺釘連接，所述鉸鏈座上的兩個側(cè)板分別與所述第二安裝座上的兩個第二凹槽相適配，銷軸依次穿過鉸鏈座上的其中一個側(cè)板、第二安裝座和鉸鏈座上的另一個側(cè)板并伸入爪體，所述撥桿的固定端與靠近爪體的側(cè)板通過螺釘連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機械手手爪結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述撥桿(60)的自由端部上安裝有頂塊(61)，所述行程開關(guān)(70)上與所述頂塊的側(cè)面相對的面上安裝有觸頭(71)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機械手手爪結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述撥桿(60)呈T字型，該T字型撥桿的橫向端與所述側(cè)板(42)的端面通過螺釘連接，縱向端通過螺釘安裝所述頂塊(61)。